上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
研究了基于数字微镜器件 (DMD)的多路并行共焦显微镜。利用 DMD产生特定的图案对光源进行调制, 形成多路并行共焦检测工作模式, 其作用相当于虚拟针孔阵列, 可以代替现有的并行扫描方式。采用 DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式, 在不损失分辨率的前提下, 大大提高了测量速度。系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性, 能够根据不同的要求对样品进行测量。解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题。设计了 DMD横向扫描策略。对样机进行了测试实验, 取得了系统的深度响应曲线, 并且成功还原了被测物表面的微结构。
共焦检测 数字微镜器件 虚拟针孔阵列 并行扫描 confocal inspection digital micromirror device virtual pinhole array parallel scanning
