上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
针对以往文献提出的探测非线性误差方案比较复杂,通常不容易实行的缺点,设计了一套简单有效的系统,用以区分由光源偏振态非理想和偏振分光镜(PBS)漏光引起混频造成的非线性误差.实验结果表明,光先后两次经过PBS后漏光分量将会大大减少,相对于由光源非正交分量引起的混频误差可以忽略不计.为了最大限度地减小安装误差,提出了一种切实有效地调整PBS的方法,确保入射光水平分量的偏振面平行于偏振分光镜的参照面,并以布儒斯特角入射.
测量 混频 拍频 漏光 非正交 measurement frequency mixing beat frequency light leaked non-orthogonal
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093
详细叙述了共焦技术中的横向扫描技术,介绍了基于数字微镜(DMD)的共焦显微镜结构与原理,建立了基于DMD的并行检测系统,并且进行了光路的优化设计。实验结果表明,采用传统共焦显微镜光路时,光线出射分光棱镜时存在棱镜内表面反射问题,导致DMD上同一像素块在CCD上成两个像。在此分析了上述现象产生的原理,给出了解决此问题的方法。
共焦显微镜 横向扫描 数字微镜 光路优化 confocal microscope horizontal scanning DMD optical optimization
上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
研究了基于数字微镜器件 (DMD)的多路并行共焦显微镜。利用 DMD产生特定的图案对光源进行调制, 形成多路并行共焦检测工作模式, 其作用相当于虚拟针孔阵列, 可以代替现有的并行扫描方式。采用 DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式, 在不损失分辨率的前提下, 大大提高了测量速度。系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性, 能够根据不同的要求对样品进行测量。解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题。设计了 DMD横向扫描策略。对样机进行了测试实验, 取得了系统的深度响应曲线, 并且成功还原了被测物表面的微结构。
共焦检测 数字微镜器件 虚拟针孔阵列 并行扫描 confocal inspection digital micromirror device virtual pinhole array parallel scanning
