1 天津职业技术师范大学 机械工程学院,天津 300222
2 天津职业技术师范大学 机械工程学院,天津 300222天津市高速切削与精密加工重点实验室,天津 300222
为了能够实现高精度的微纳米级转动,该文基于柔性铰链设计了一种单压电陶瓷驱动的纯转动微定位平台。平台采用圆周阵列式柔性梁实现运动导向与解耦,通过杠杆机构增大动平台转动行程。首先通过有限元仿真验证了圆周阵列式柔性梁对动平台轴心漂移的抑制作用,然后通过实验对其运动特征进行测试与分析。测试结果表明,该机构具有良好的回转精度,在x轴正方向轴心漂移量为0~0.23 μm,y轴负方向轴心漂移量为0~4.59 μm,旋转弧度可达916 μrad,旋转精度为0.53 μrad。轴心漂移补偿后整体误差最大为4.9%。
压电陶瓷 微转动平台 柔性铰链 轴漂 旋转弧度 piezoelectric ceramic micro-rotational platform flexible hinge axial drift rotation radian
1 中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083
2 中国科学院大学,北京 100049
3 中国科学院力学研究所,北京 100190
探测低频引力波需要脱离地缘噪声干扰,在空间搭建激光干涉引力波探测装置。太极、LISA、天琴等空间引力波探测任务,计划在几十万到几百万公里量级的臂长上实现皮米级的位移测量精度,以满足引力波探测的要求。在探测任务中,考虑轨道季节性变化和星间激光传输时间等因素,发射光束需要一个超前角度,确保远端望远镜能够接收到光束,从而完成星间激光干涉。针对发射光束需要超前角度的需求,设计并研制了一款用于激光干涉链路中提供超前角度的光束指向机构,即超前瞄准机构。该机构基于将偏转轴配置在反射镜面上的设计理念,采用柔性铰链和杠杆配合的结构形式,利用压电陶瓷自闭环进行驱动控制,实现光束一维高精度偏转。对该机构进行仿真分析,验证其力学特性以及偏转范围。对所研制的机构进行了一系列实验测试,结果表明,该机构偏转范围可达到
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μrad,偏转精度可达到
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μrad,机构偏转引起的光程差优于
${\text{10}}\;{{{\text{pm}}}/{\sqrt {{\text{Hz}}} }}\;$![]()
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(1~10 Hz)。从而验证了该机构设计的可行性,为实现光束超稳高精度偏转提供一定的参考。
空间引力波探测 超前瞄准机构 柔性铰链 光程差 space gravitational wave detection Point Ahead Angle Mechanism flexible hinge optical path difference 红外与激光工程
2023, 52(4): 20220423
武汉理工大学 光纤传感技术与网络国家工程研究中心, 武汉 430070
针对振动测量中三维振动信号测量需要, 基于柔性铰链设计了一种光纤光栅(FBG)三维加速度传感器。构建了传感器拾振机构的振动模型, 介绍了传感器的结构模型和测量原理, 推导了传感器谐振频率和灵敏度理论公式, 建立了拾振机构的数学模型, 并用MATLAB对传感器拾振机构关键尺寸参数进行优化设计。根据优化后尺寸制作了传感器, 通过振动实验对其进行性能测试。实验结果表明: 该传感器在X轴、Y轴和Z轴方向的谐振频率分别为673, 667和1376Hz, 工作频率区间分别为0~220Hz, 0~220Hz和0~450Hz, 灵敏度分别为72.3, 70.2和83.1pm/g。所设计的传感器具有较好的横向抗干扰能力, 能够满足三维振动信号测量的要求。
光纤光栅 三维加速度传感器 柔性铰链 振动测量 fiber Bragg grating three dimensional acceleration sensor flexible hinge vibration measurement
1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川 成都 610209
2 中国科学院大学,北京 100049
针对光刻投影物镜中动镜X-Y向调节机构精度高、行程小、结构紧凑的需求,提出了一种X-Y向一体式调节机构。所提机构基于四连杆调节原理,利用内外圈独立分布的X-Y向柔性铰链,无需解耦即可实现X/Y向高精度调节。首先根据投影物镜中动镜的调节精度和行程,完成所提机构的结构设计;然后运用有限元分析法仿真分析所提X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明:所提机构调节行程大于±20 μm,X向、Y向的刚度值分别为0.542 μm/N、0.671 μm/N;单X、Y向开环驱动时,垂直方向耦合误差与主方向移动量之比分别为6.86%、4%;模态大于100 Hz。最后,对所提调节机构进行了性能测试实验,X向重复定位精度为36.3 nm,Y向为41.7 nm;调节过程中,角度偏移小于0.5″。实验结果表明,所提柔性调节机构能够满足光刻投影物镜像质补偿对X-Y向高精度调节要求。
成像系统 光刻物镜 像质补偿 动镜 X-Y向调节机构 柔性铰链 激光与光电子学进展
2022, 59(4): 0411002
红外与激光工程
2021, 50(8): 20210025
红外与激光工程
2021, 50(4): 20200286
1 中国科学院国家天文台 南京天文光学技术研究所,江苏 南京 210042
2 中国科学院天文光学技术重点实验室(南京天文光学技术研究所),江苏 南京 210042
3 中国科学院大学,北京 100049
针对极大望远镜矩形准直镜设计了一种新型柔性支撑系统,即由6根空心圆柱杆为支撑主体的侧面支撑结构。利用多目标优化算法对柔性支撑系统的结构参数和位置参数进行优化设计,并对优化后的柔性支撑系统进行稳定性研究。优化后的准直镜柔性支撑系统在自重条件下镜面最大PV值为168.23 nm,RMS值为30.306 nm,质量为229.21 kg,满足设计要求。当环境温度变化范围在20 ℃~23.7 ℃内,不会对准直镜性能产生影响;此外,地面随机振动不会影响准直镜工作性能和破坏支撑结构。研究结果表明:准直镜柔性支撑机构的多目标优化设计全面考虑了准直镜柔性机构形状参数、机构安全可靠性和光学面形形变等多学科之间耦合问题,设计者可按需选择全局范围内最满意的最优解,这将大幅度降低开发成本和周期。
矩形反射镜 侧面支撑 柔性铰链 多目标优化 rectangular reflector side support flexible hinge multi-objective optimization
1 吉林省教育学院,吉林 长春 130022
2 吉林大学 仪器科学与电气工程学院,吉林 长春 130061
3 应急管理部国家自然灾害防治研究院,北京 100085
针对低频振动检测的需求,研制了一种基于柔性铰链的光纤光栅(FBG)振动传感器,实现了在一定范围内对低频信号的高精度测量。根据传感器的理想结构模型,结合力矩平衡方程和拉格朗日方程给出了传感器的灵敏度和固有频率的计算方法,并采用ANSYS软件对传感器的结构进行有限元分析,得到了一阶谐振频率为92.457 Hz。通过性能测试试验,传感器在0.5~55 Hz这个频率范围内平坦度好,固有频率为91 Hz,与有限元分析结果一致,灵敏度为1.94 nm/g,线性度为99.99%。其纵向灵敏度远优于横向灵敏度,具备较强的横向抗干扰能力。
振动传感器 柔性铰链 高灵敏度 大量程 vibration sensor FBG FBG flexible hinge high sensitivity large range 红外与激光工程
2020, 49(S2): 20200340
陆军工程大学 石家庄校区, 河北 石家庄 050003
为了满足大行程、高精度旋转运动的需求, 以尺蠖型累积步进角位移为原理, 设计了尺蠖型超磁致伸缩旋转驱动器。以超磁致伸缩棒为动力源、直角柔性铰链为回弹元件, 通过施加特定时序的激励信号, 使钳紧机构和驱动机构有效配合, 实现了转子的步进式角位移输出。将直角柔性铰链简化为超静定梁进行了静动态特性分析, 并建立了空间力学模型。搭建了实验测试系统, 对超磁致伸缩旋转驱动器的输出性能、钳紧稳定性和输出角位移稳定性进行了实验测试。实验结果表明: 在驱动电压为4.5 V、频率为2 Hz的条件下, 平均单步角位移为278.81 μrad, 最大误差为7.92 μrad, 最大相对误差为2.83%; 系统钳紧机构的径向跳动小于1.35 μm, 驱动器工作状态稳定可靠, 输出精度高, 可实现360°转动; 模型计算结果与实验结果基本一致, 最大误差为12.11 μrad, 最大相对误差为4.34%。
超磁致伸缩 旋转驱动器 尺蠖型 直角柔性铰链 giant magnetostrictive rotary actuator inchworm right angle flexible hinge 光学 精密工程
2019, 27(10): 2215