提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——利用腐蚀电流特性和腐蚀图像均匀度相结合的方法，选择出适合的腐蚀溶液。该方法可以提高激光液相腐蚀的性能，解决腐蚀溶液选择的诸多难题，在特殊结构光电器件和光电集成中具有很好的应用前景。

提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——次序选择腐蚀法。次序选择腐蚀是指在激光化学液相腐蚀中，腐蚀溶剂不是混合后同时作用于基片，而是按照溶剂的性能，分先后对基片进行腐蚀。实质上是采用微处理(表面处理)再进行混合液相激光辅助下的腐蚀。理论分析和实验结果都表明，与国内外研究普遍采用的混合溶剂腐蚀法相比，次序选择腐蚀可以有效地提高腐蚀表面的均匀性;因先采用H2O2对基片进行化学腐蚀处理，大大缩短了激光化学腐蚀的时间;利用溶剂分开，降低了激光化学腐蚀对混合溶剂精确配比的要求，使激光化学腐蚀控制和分析更加简单。这种方法可以克服常规方法的诸多弊端，提高腐蚀性能，在特殊结构光电器件和光电集成中具有广泛的应用前景。