作者单位
摘要
1 苏州科技大学 物理科学与技术学院 江苏微纳热流技术与能源应用重点实验室, 江苏 苏州 215009
2 济源职业技术学院 基础部, 河南 济源 454682
3 北京联合大学数理部, 北京 100101
液晶波前校正器通常基于液晶显示器的工艺制备而成,因此其研制成本高、定制难度大。本文基于掩模光刻法制备液晶波前校正器,以实现液晶波前校正器的专用化、低成本研制。基于掩模光刻技术设计并制备了91像素的无源液晶驱动电极,并封装成液晶光学校正单元。设计并制备了驱动连接电路板,实现了液晶光学驱动单元和驱动电路板的匹配对接。对液晶波前校正器响应特性进行检测。结果显示,其相位调制量为5.5个波长,响应时间为224 ms。利用Zygo干涉仪进行球面波的产生和静态倾斜像差的校正。结果显示,其可以产生正负离焦波前,且对水平倾斜像差校正后,Zernike多项式中第一项的值从1.18降至0.16,校正幅度达86%,实现了像差的有效校正。本文的研究工作可为液晶波前校正器的研制提供新思路,进而拓宽其应用领域和场景。
液晶波前校正器 掩模光刻 波前 响应特性 像差校正 liquid crystal wavefront corrector mask lithography wavefront response characteristic aberration correction 
中国光学
2024, 17(2): 324
作者单位
摘要
重庆邮电大学通信与信息工程学院,重庆 400065
跨模态行人重识别是一项具有挑战性的行人检索任务。现有研究侧重于通过提取模态共享特征来减小模态间差异,忽视了对模态内差异和背景干扰的处理。为此,提出了一种掩膜重构与动态注意力(MRDA)网络,该网络通过重构人体区域特征来消除背景杂波的影响,从而增强网络对背景变化的鲁棒性。此外,该网络结合了动态注意力机制,以过滤无关信息,动态挖掘并增强具有辨别力的特征表示,消除模态内差异的影响。实验结果显示:该网络在SYSU-MM01数据集的all-search模式下的第一个检索结果匹配成功的概率(Rank-1)和均值平均精度(mAP)分别达到70.55%和63.89%;在RegDB数据集的visible-to-infrared检索模式下的Rank-1和mAP分别达到91.80%和82.08%。在公共数据集上验证了所提方法的有效性。
行人重识别 跨模态 掩膜重构 双流网络 动态注意力 
激光与光电子学进展
2024, 61(10): 1015001
龚健文 1,2,3王建 1,3刘俊伯 1,3孙海峰 1,3胡松 1,3,*
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川 成都 610209
2 电子科技大学光电科学与工程学院,四川 成都 611731
3 中国科学院大学,北京 100049
微透镜阵列 投影光刻技术 掩模移动滤波技术 microlens array projection lithography mask moving filtering technology 
光电工程
2024, 50(12): 230281
李勇 1,2吴海波 1,2,*李万 1,2李东泽 1,2
作者单位
摘要
1 昆明理工大学机电工程学院,云南 昆明 650500
2 云南省先进装备智能制造技术重点实验室,云南 昆明 650500
针对传统视觉同步定位和映射(SLAM)系统在动态环境中鲁棒性和定位精度低等问题,基于ORB-SLAM2算法框架,提出一种在室内动态环境中运行稳健的视觉SLAM算法。首先,语义分割线程采用改进的轻量化语义分割网络YOLOv5获得动态对象的语义掩码,并通过语义掩码选择ORB特征点,同时,几何线程通过加权几何约束的方法检测动态对象的运动状态信息。然后,提出一种给语义静态特征点赋予权值,并对相机的位姿和特征点的权值进行局部光束平差法(BA)联合优化的算法,有效地减少动态特征点的影响。最后,在TUM数据集和真实的室内动态场景中进行实验,结果表明,与改进之前的ORB-SLAM2算法相比,所提算法有效地提高了系统在高动态数据集中的定位精度,并且绝对轨迹误差和相对轨迹误差的均方根误差(RMSE)分别提升了96.10%和92.06%以上。
视觉SLAM 动态环境 加权几何约束 语义掩码 BA联合优化 
激光与光电子学进展
2024, 61(4): 0437003
作者单位
摘要
上海华力集成电路制造有限公司,上海200120
在摩尔定律的影响下,半导体制造的线宽尺寸逐步到达极限。当前28 nm及以下工艺制程中,多晶硅栅极刻蚀普遍采用双层联动的硬掩模刻蚀加多晶硅刻蚀的方法,可以实现关键尺寸的有效控制,但同时也增加了颗粒缺陷的发生率。针对多晶硅硬掩模刻蚀(Polysilicon Hard Mask Etch, P1HM-ET)过程中出现的棒状颗粒缺陷,分析了缺陷的来源和形成机理。通过精准调控刻蚀结束后静电卡盘(Electrostatic-Chuck, ESC)对晶圆的释放时间和自身电荷的释放时间来加强刻蚀腔体内颗粒的清除和减小晶背静电吸附作用。结果显示,当晶圆释放时间增加2 s,ESC电荷释放时间增加6 s后,减少了约80%的棒状颗粒缺陷。通过调控相关联的工艺参数来减少缺陷,可以有效减少消耗性零件的使用,从而降低生产成本。
28 nm工艺 多晶硅硬掩模刻蚀 棒状颗粒 28 nm process polysilicon hard mask etch stick particle 
红外
2023, 44(7): 0026
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900
激光惯性约束聚变实验需要使用数十台套诊断设备从不同方位对瞬态微尺度物理过程进行诊断表征。大部分诊断设备通常需要进入巨型靶室真空环境内,在厘米到米级的不同工作距离上,对聚变靶上面毫米到数十微米的靶标进行瞄准,大部分诊断设备的瞄准精度需要达到50 μm水平。双目瞄准方法是在真空环境下实现远距离高精度瞄准的一种重要方法,但目前主要依赖人工判读图像识别靶标和手动操作诊断搭载平台运动实现对靶瞄准,特别是靶室内照明条件或诊断设备瞄准视线存在夹角等条件会严重影响靶标识别效果,对诊断设备瞄准精度造成较大影响。发展了一种基于机器视觉的诊断自动瞄准方法,采用Mask R-CNN算法并以大量模拟瞄准图进行靶标识别训练,有效解决了靶标自动判读问题,对靶标识别误差控制在8个像素点以内;同时基于实验室瞄准测试平台开展了靶标像素偏差与瞄准坐标偏离关系的离线标定,开展了算法引导下的瞄准精度测试,根据测试结果预估指向瞄准精度优于30 μm、径向瞄准精度优于50 μm,对实现诊断设备的高精度自动瞄准有一定的基础参考价值。
激光惯性约束聚变 诊断自动瞄准 Mask R-CNN算法 靶标识别 瞄准反馈控制 laser driven inertial confinement fusion autonomic diagnostic alignment Mask R-CNN algorithm target marker recognition feedback controlling of the alignments 
强激光与粒子束
2023, 35(11): 112002
王亮 1,2孔文 1,2何益 1,2,*黄江杰 1,2史国华 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学技术大学 生物医学工程学院, 安徽 合肥 230026
2 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所, 江苏 苏州 215163
进行波前探测时,标准动物模型小鼠的眼底视网膜双层反射光会导致像差探测失效。为解决这一问题,本文提出了一种结合光学掩模调制的鼠眼像差测量方法,以期提高鼠眼波前像差测量精度。首先,根据鼠眼视网膜的关键参数,建立鼠眼波前像差探测的光学系统模型并进行光学仿真。然后,分析比较不同孔径的光学掩模对视网膜非目标层反射光束的遮拦效果,确定光学掩模参数与实验方案。最后,搭建鼠眼波前像差探测系统并开展在体鼠眼波前像差的测量实验。实验结果表明:0.5 mm孔径的光学掩模可以将鼠眼波前像差的测量均方根误差降低74.9%,与理论仿真的80%区域实现非目标层反射光遮拦效果近似。本文研究实现了对鼠眼视网膜非目标层反射光的有效遮拦,提升了鼠眼波前像差探测精度,为进一步实现鼠眼高分辨率成像奠定了基础。
波前探测 鼠眼像差 掩模 夏克—哈特曼波前传感器 wavefront detection mouse eye aberration mask Shack-Hartmann wavefront sensor 
中国光学
2023, 16(5): 1100
作者单位
摘要
1 中南林业科技大学机电工程学院,湖南 长沙 410018
2 中南大学机电工程学院,湖南 长沙 410083
3 中南大学高性能复杂制造国家重点实验室,湖南 长沙 410083
利用飞秒激光相位掩模加工方法制造光纤布拉格光栅(FBG),并研究了激光能量和曝光时间对FBG波长、反射率和带宽的影响规律。研究发现,随着曝光时间的增加,光纤的折射率调制量逐渐变大,耦合效率增大,反射率逐渐变大。当光纤耦合效率达到饱和时,反射率保持不变;当过曝光时,反射率轻微减小,光纤的平均有效折射率和折射率调制深度均变大,带宽增大。随着激光能量的增大,达到最大反射率所需要的曝光时间缩短,且FBG波长的红移量越多,带宽就越大。过大的激光能量会使平均有效折射率和折射率调制深度变大,从而导致FBG主谐振峰两边的旁瓣增多,影响光谱质量。另外,短波方向旁瓣的振荡比较显著,而长波方向则比较平顺。因此,在实际加工中需要选择合适的激光曝光能量和曝光时间。实验获得的最大FBG反射强度达到15 dB,且其光谱变化和理论分析一致。该研究为高质量FBG的制造和光谱特性优化提供了实验依据。
光纤光学 光纤布拉格光栅 飞秒激光 相位掩模法 光谱特性 带宽 
中国激光
2023, 50(19): 1906001
作者单位
摘要
四川大学材料科学与工程学院,四川 成都 610064
太赫兹成像技术在安全检查、医学成像等领域展现出了巨大的应用潜力。相比传统的机械扫描成像和焦平面阵列成像,单像素成像具有系统简单、成像速度快及成本低等优势。其可结合空间光调制技术,运用关联算法重构出目标的二维太赫兹空间信息。从太赫兹单像素成像的基本概念和发展历程出发,着重分析了单像素成像中编码掩模的原理、材料、发展应用及可能面临的挑战。
太赫兹 单像素成像 编码掩模 半导体 相变材料 
激光与光电子学进展
2023, 60(18): 1811006
作者单位
摘要
遵义师范学院 物理与电子科学学院,贵州 遵义 563006
随着图像处理应用在各新兴领域的不断扩展,高性能椒盐去噪仍然是一项具有挑战性的任务。本文提出了一种结合噪声掩模训练和最近邻搜索机制的椒盐去噪方法。首先,搭建一个包含9个卷积层的轻量级神经网络,用于生成高质量的噪声掩模。接着,根据该噪声掩模的噪点标记结果,正常像素不作处理,通过最近邻搜索机制寻找与噪点最相邻的正常像素灰阶替代噪点灰阶。本文提出了一种用于噪点标记的轻量级卷积神经网络。在降低网络深度的同时,在中间层采用深度可分离卷积代替常规卷积,这两个因素使得运算复杂度和参数量得到数量级的降低。另外,提出了一种基于最近邻搜索机制的去噪方法,提升了去噪性能。实验结果表明,所提出网络的运算复杂度比传统网络有数量级的降低,训练所得噪声掩模的误判率分别比极点标记、均值标记和极值图像块标记分别降低了94.79%、94.79%和83.65%。此外,去噪图像的峰值信噪比相比于传统卷积神经网络方法的处理结果提升了2.53%,信息损失降低了6.76%。本文首次将轻量级卷积神经网络应用于椒盐去噪,降低了网络的复杂度,提升了去噪性能。
椒盐噪声 噪声掩模 轻量级卷积神经网络 最近邻搜索 深度学习 salt and pepper noise noise mask lightweight convolutional neural network the nearest searching deep learning 
液晶与显示
2023, 38(9): 1234

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