重庆邮电大学通信与信息工程学院,重庆 400065
跨模态行人重识别是一项具有挑战性的行人检索任务。现有研究侧重于通过提取模态共享特征来减小模态间差异,忽视了对模态内差异和背景干扰的处理。为此,提出了一种掩膜重构与动态注意力(MRDA)网络,该网络通过重构人体区域特征来消除背景杂波的影响,从而增强网络对背景变化的鲁棒性。此外,该网络结合了动态注意力机制,以过滤无关信息,动态挖掘并增强具有辨别力的特征表示,消除模态内差异的影响。实验结果显示:该网络在SYSU-MM01数据集的all-search模式下的第一个检索结果匹配成功的概率(Rank-1)和均值平均精度(mAP)分别达到70.55%和63.89%;在RegDB数据集的visible-to-infrared检索模式下的Rank-1和mAP分别达到91.80%和82.08%。在公共数据集上验证了所提方法的有效性。
行人重识别 跨模态 掩膜重构 双流网络 动态注意力 激光与光电子学进展
2024, 61(10): 1015001
1 昆明理工大学机电工程学院,云南 昆明 650500
2 云南省先进装备智能制造技术重点实验室,云南 昆明 650500
针对传统视觉同步定位和映射(SLAM)系统在动态环境中鲁棒性和定位精度低等问题,基于ORB-SLAM2算法框架,提出一种在室内动态环境中运行稳健的视觉SLAM算法。首先,语义分割线程采用改进的轻量化语义分割网络YOLOv5获得动态对象的语义掩码,并通过语义掩码选择ORB特征点,同时,几何线程通过加权几何约束的方法检测动态对象的运动状态信息。然后,提出一种给语义静态特征点赋予权值,并对相机的位姿和特征点的权值进行局部光束平差法(BA)联合优化的算法,有效地减少动态特征点的影响。最后,在TUM数据集和真实的室内动态场景中进行实验,结果表明,与改进之前的ORB-SLAM2算法相比,所提算法有效地提高了系统在高动态数据集中的定位精度,并且绝对轨迹误差和相对轨迹误差的均方根误差(RMSE)分别提升了96.10%和92.06%以上。
视觉SLAM 动态环境 加权几何约束 语义掩码 BA联合优化 激光与光电子学进展
2024, 61(4): 0437003
在摩尔定律的影响下,半导体制造的线宽尺寸逐步到达极限。当前28 nm及以下工艺制程中,多晶硅栅极刻蚀普遍采用双层联动的硬掩模刻蚀加多晶硅刻蚀的方法,可以实现关键尺寸的有效控制,但同时也增加了颗粒缺陷的发生率。针对多晶硅硬掩模刻蚀(Polysilicon Hard Mask Etch, P1HM-ET)过程中出现的棒状颗粒缺陷,分析了缺陷的来源和形成机理。通过精准调控刻蚀结束后静电卡盘(Electrostatic-Chuck, ESC)对晶圆的释放时间和自身电荷的释放时间来加强刻蚀腔体内颗粒的清除和减小晶背静电吸附作用。结果显示,当晶圆释放时间增加2 s,ESC电荷释放时间增加6 s后,减少了约80%的棒状颗粒缺陷。通过调控相关联的工艺参数来减少缺陷,可以有效减少消耗性零件的使用,从而降低生产成本。
28 nm工艺 多晶硅硬掩模刻蚀 棒状颗粒 28 nm process polysilicon hard mask etch stick particle
强激光与粒子束
2023, 35(11): 112002
1 中国科学技术大学 生物医学工程学院, 安徽 合肥 230026
2 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所, 江苏 苏州 215163
进行波前探测时,标准动物模型小鼠的眼底视网膜双层反射光会导致像差探测失效。为解决这一问题,本文提出了一种结合光学掩模调制的鼠眼像差测量方法,以期提高鼠眼波前像差测量精度。首先,根据鼠眼视网膜的关键参数,建立鼠眼波前像差探测的光学系统模型并进行光学仿真。然后,分析比较不同孔径的光学掩模对视网膜非目标层反射光束的遮拦效果,确定光学掩模参数与实验方案。最后,搭建鼠眼波前像差探测系统并开展在体鼠眼波前像差的测量实验。实验结果表明:0.5 mm孔径的光学掩模可以将鼠眼波前像差的测量均方根误差降低74.9%,与理论仿真的80%区域实现非目标层反射光遮拦效果近似。本文研究实现了对鼠眼视网膜非目标层反射光的有效遮拦,提升了鼠眼波前像差探测精度,为进一步实现鼠眼高分辨率成像奠定了基础。
波前探测 鼠眼像差 掩模 夏克—哈特曼波前传感器 wavefront detection mouse eye aberration mask Shack-Hartmann wavefront sensor
1 中南林业科技大学机电工程学院,湖南 长沙 410018
2 中南大学机电工程学院,湖南 长沙 410083
3 中南大学高性能复杂制造国家重点实验室,湖南 长沙 410083
利用飞秒激光相位掩模加工方法制造光纤布拉格光栅(FBG),并研究了激光能量和曝光时间对FBG波长、反射率和带宽的影响规律。研究发现,随着曝光时间的增加,光纤的折射率调制量逐渐变大,耦合效率增大,反射率逐渐变大。当光纤耦合效率达到饱和时,反射率保持不变;当过曝光时,反射率轻微减小,光纤的平均有效折射率和折射率调制深度均变大,带宽增大。随着激光能量的增大,达到最大反射率所需要的曝光时间缩短,且FBG波长的红移量越多,带宽就越大。过大的激光能量会使平均有效折射率和折射率调制深度变大,从而导致FBG主谐振峰两边的旁瓣增多,影响光谱质量。另外,短波方向旁瓣的振荡比较显著,而长波方向则比较平顺。因此,在实际加工中需要选择合适的激光曝光能量和曝光时间。实验获得的最大FBG反射强度达到15 dB,且其光谱变化和理论分析一致。该研究为高质量FBG的制造和光谱特性优化提供了实验依据。
光纤光学 光纤布拉格光栅 飞秒激光 相位掩模法 光谱特性 带宽 中国激光
2023, 50(19): 1906001
四川大学材料科学与工程学院,四川 成都 610064
太赫兹成像技术在安全检查、医学成像等领域展现出了巨大的应用潜力。相比传统的机械扫描成像和焦平面阵列成像,单像素成像具有系统简单、成像速度快及成本低等优势。其可结合空间光调制技术,运用关联算法重构出目标的二维太赫兹空间信息。从太赫兹单像素成像的基本概念和发展历程出发,着重分析了单像素成像中编码掩模的原理、材料、发展应用及可能面临的挑战。
太赫兹 单像素成像 编码掩模 半导体 相变材料 激光与光电子学进展
2023, 60(18): 1811006