1 微光夜视技术国防科技重点实验室，陕西 西安 710065
2 西安应用光学研究所 陕西 西安 710065
为解决透射式Cs2Te光阴极厚度不均匀问题，通过理论和实验研究，分析了产生此问题的机理及其影响因素。这些因素包括：蒸发源发生器形状及其与阴极基底之间的相对位置；Cs／Te原子在阴极基底表面上完成化学反应所需的结合能以及制作阴极前基底表面所能达到的温度均匀性水平等。实验证明，上述最后一个因素是影响Cs2Te光阴极厚度不均匀的主要原因。通过改变加温程序，优化保温时间，均衡阴极基底与阴极托盘温度梯度等途径，使得制作的透射式Cs2Te光阴极厚度不均匀性由原来的76．4%，改善为＜10%。
Cs2Te光阴极 厚度均匀性 蒸发源 阴极基底 Cs2Te photocathode thickness uniformity vaporizing source photocathode substrate
