1 华东理工大学 机械与动力工程学院 承压系统安全科学教育部重点实验室, 上海 200237
2 华东理工大学 资源与环境工程学院, 上海 200237
采用一种相对简单而又精确的光度法来计算弱吸收基底上弱吸收薄膜的光学常数, 为低损耗紫外薄膜的设计与实现提供了理论基础。采用JGS1型熔融石英基底, 制备了MgF2与LaF3材料的单层膜, 获得了JGS1型熔融石英基底及MgF2与LaF3薄膜的光学常数色散曲线。结果显示：在200 nm左右处, JGS1型熔融石英基底的吸收已经比较明显, 消光系数在10-8量级, 因此, 应考虑基底的弱吸收, 以提高薄膜光学常数的计算精度。
紫外薄膜 光度法 光学常数 MgF2薄膜 LaF3薄膜 ultraviolet film photometric method optical constants MgF2 film LaF3 film
