环境振动会在干涉测量过程中产生随机倾斜、移相误差,导致测量精度下降。为了降低环境振动对移相干涉测量的影响,提出了一种基于倾斜相位的抗振动干涉面形测量方法。首先,利用Fourier变换将干涉图变换到频域;然后,利用频域细分操作对峰值坐标进行亚像素精度定位,求解出振动倾斜平面;最后,利用最小二乘法计算出待测面的相位分布。实验结果表明,本方法与同步移相法的复原结果具有高度一致性,波面峰谷值和均方根值的偏差较小;且本方法无需对硬件进行改动,可为振动环境下的移相干涉测量提供一种低成本、高精度的解决方案。

由于存在振动和导向误差，干涉仪移相器在移相过程中产生随机的平移误差和倾斜误差，会给测量结果带来影响。因此高精度测量中对环境的稳定性和移相器的性能要求很苛刻。为了降低此种要求，针对随机和倾斜移相下干涉图背景光强和调制度的不均匀会影响移相平面计算的问题，对采集得到的干涉图做归一化处理，并利用迭代最小二乘法对归一化的干涉图做相位求解。迭代过程中，将干涉图分块来求解移相值，并对各移相值做平面拟合得到移相平面。仿真结果表明，该方法消除了背景光强和调制度的不均匀对倾斜系数计算的耦合作用，能够有效补偿倾斜移相误差对面形相位的影响，与其他方法相比,具有收敛速度快、求解精度高的特点。实验结果进一步验证了该方法的有效性。