为了提高曲率半径定焦准确度, 从移相干涉仪, 标准镜头透射波前误差, 被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发, 分析影响干涉仪定焦准确度的各因素, 并给出各误差补偿表达式.通过对比实验发现, 在猫眼及共焦位置处调整误差补偿后, 离焦量及曲率半径测量结果的变化趋势由近似线性变为随机变化, 同时由离焦量引入的曲率半径变化量由7.05 μm减小为0.5 μm.在曲率半径干涉测量中, 调整误差为影响定焦准确度的主要误差源, 调节调整误差可有效控制离焦量的变化, 提高曲率半径测量准确度.

在简要总结各种检测光学球面曲率半径方法优缺点的基础上，提出了利用激光跟踪仪和激光干涉仪测量光学球面曲率半径的新方法。首先，通过激光跟踪仪精确定位测量干涉仪出射球面波前的焦点和待测球面镜的曲率中心点坐标，再调整待测球面镜与干涉仪的相对位置，使待测球面镜达到零条纹干涉状态，用激光跟踪仪测定此时待测球面镜上多点的位置坐标，通过计算分析即可得到待测球面镜的曲率半径。研究和分析了这种测量光学球面曲率半径方法的基本原理，并提出了针对凸球面镜曲率半径的多区域测定平均综合优化的方法。结合实例对一口径为400 mm的球面透镜进行了曲率半径的测量，测量得到其两面曲率半径分别为1022.283 mm(凸面)和4069.568 mm(凹面)，并将该透镜进行了轮廓法测量对比，其相对误差都小于0.05%。