1 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室，上海 200083
2 中国科学院研究生院，北京 100039
报道了HgCdTe长波离子注入n+-on-p型光电二极管列阵低能氢等离子体修饰的研究成果.基于采用分子束外延(MBE)技术生长的HgCdTe/CdTe薄膜材料，通过注入窗口的光刻与选择性腐蚀、注入阻挡层的生长、形成光电二极管的B+注入、光电二极管列阵的低能氢等离子体修饰、金属化和铟柱列阵的制备等工艺，得到了氢等离子体修饰的n+-on-p型HgCdTe长波光电二极管列阵.从温度为78 K的电流与电压(I-V)和动态阻抗与电压(R-V)特性曲线中，发现经过低能氢等离子体修饰的HgCdTe红外长波光电二极管列阵动态阻抗极大值比未经过修饰处理的提高了1～2倍，并在反向偏压大于动态阻抗极大值所处的偏压时动态阻抗得到更为明显的提升.这表明低能氢等离子体修饰可以抑制HgCdTe光电二极管列阵暗电流中的带带直接隧穿电流Ibbt和缺陷辅助隧穿电流Itat，从而能提高长波红外焦平面探测器工作的动态范围和探测性能的均匀性.
碲镉汞(HgCdTe) 氢等离子体修饰 光电二极管列阵 暗电流 HgCdTe hydrogen plasma modification photodiode arrays dark current
1 华南师范大学物理系,广东,广州,510631
2 广东电信公司科学技术研究院,广东,广州,510630
楔形自扫描光电二极管列阵(CSSPA)是一个直接用于接收中心对称谱分布的二维空间光能量传感器.当照度为0～0.51X·S时,其特性对颗粒测量准确度有较大的影响,为此组建了基于M公司虚拟仪器平台的测试装置,用双斜率分段法实现了CSSPA的特性测试.为改进传感器特性提出增加小环面积,降低小环斜率、提高大环斜率等建议.
光能量分布传感器 光电二极管列阵 测试技术 特性分析
分析了用1024单元的光电二极管列阵测量干涉条纹周期时,采样密度对测量精度的影响.采样数据的量化为256,每个干涉条纹的采样点数从10至30左右时,测量精度最高,可优于2×10~(-5).量化小时,最佳采样密度变小.
光电二极管列阵 干涉条纹周期
