1 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室, 安徽 合肥 230029
2 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230027
为了修正和提高计量线覆盖的5～140 nm波段光学元件性能的定标和测量精度, 根据国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线的高次谐波分布设计了高次谐波的抑制方案。利用3 500, 840 l/mm金膜自支撑透射光栅和光电二极管探测器研究了计量线在5～140 nm波段高次谐波的分布情况, 并据此提出了利用Si、Al、Al/Mg/Al滤片以及LiF窗、MgF2窗在不同波段对高次谐波进行抑制的方法。实验结果显示: 在5～15 nm波段, 无滤片情况下高次谐波含量极低; 在15～40 nm波段, 通过在相应波段添加适当滤片的方式, 经探测器量子效率修正后的高次谐波比例可抑制在18％以下; 在105～140 nm、115～140 nm波段, 运用LiF窗、MgF2窗滤波可使高次谐波比例基本为零。由此表明, 使用滤波片对全波段抑制谐波的方案是有效的。
同步辐射 光谱计量 高次谐波 抑制 synchrotron radiation spectral metrology higher-order harmonics suppression
1 中国科学技术大学国家同步辐射实验室， 安徽 合肥 230029
2 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系， 安徽 合肥 230026
连续光谱的同步辐射光通过入射狭缝照射到光栅单色器后，在出射的单色光λ中总是不可避免的混有基波λ的高级次谐波λn=λ/n。采用自制的3300 1p/mm 金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUVI00G光电二极管探测器，定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5~40 nm波段的高次谐波。研究了Zr，Si，Al和Al/Mg/Al滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用，给出了实验数据和曲线。在5~40 nm波段，适当的选用Zr，Si，Al和Al/Mg/Al 滤片可有效地抑制高次谐波，在5~34 nm波段将高次谐波与基波的信号强度比例控制在8.06%以内，经量子效率修正后小于3.08%，在35~40波段经探测器量子效率修正后高次谐波比例小于10.00%。
光谱学 高次谐波抑制 滤片 真空紫外 光谱计量
1 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
2 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026
采用自制的840/mm金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUV100G光电二极管探测器,定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5～140 nm波段的高次谐波.研究了Al、Si3N4和Zr滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用,给出了实验数据和曲线.实验结果显示:在5～15 nm波段,不用任何滤片高次谐波的信号强度＜7%;在5～34 nm波段,适当的选用Al、Si3N4和Zr滤片可有效地抑制高次谐波,将高次谐波占基波的积分信号强度比例控制在＜14%,经探测器的量子效率修正后高次谐波的百分比在6.5%以内.在经过MgF2窗滤波的115～140 nm波段,高次谐波的衍射峰几乎完全被抑制.这一研究为软X射线和极紫外的光谱计量、探测器定标和光学元件性能测试奠定了基础.
光谱定标 光束线 高次谐波 光谱计量
