为了抑制同步辐射光通过光栅单色器后出射的单色光在长波段的高次谐波以及提高光源在该波段的偏振特性，计算分析了三镜偏振器Au_Si_Au的偏振特性及其对长波段高次谐波的抑制效果。比较了Au_Si_Au，Au_SiC_Au和Au_Be_Au 3种不同材料的偏振镜抑制高次谐波的能力和对偏振度的提高。计算分析表明，Au_Si_Au三镜组合镜对长波段的高次谐波抑制效果较好，光源通过Au_Si_Au三镜反射后，P分量的反射率几乎为0，而S分量在30 eV以后几乎全被抑制。Au_Si_Au三反射镜不仅可以抑制30 eV以上的高次谐波，而且使该波段光源的偏振性得到提高，20 eV时最高偏振度可达99%以上，从而在极大地改善同步辐射光源纯度的同时提高了光源的偏振度。

连续光谱的同步辐射光通过入射狭缝照射到光栅单色器后，在出射的单色光λ中总是不可避免的混有基波λ的高级次谐波λn=λ/n。采用自制的3300 1p/mm 金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUVI00G光电二极管探测器，定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5~40 nm波段的高次谐波。研究了Zr，Si，Al和Al/Mg/Al滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用，给出了实验数据和曲线。在5~40 nm波段，适当的选用Zr，Si，Al和Al/Mg/Al 滤片可有效地抑制高次谐波，在5~34 nm波段将高次谐波与基波的信号强度比例控制在8.06%以内，经量子效率修正后小于3.08%，在35~40波段经探测器量子效率修正后高次谐波比例小于10.00%。

国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的.为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度.对于已经建成的光束线,要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的,最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑制不同波段的高次谐波.为了研究高次谐波的抑制效果,可将840 1/mm透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭缝后面色散出射光,用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线,然后分析得到高次谐波的含量和分布.本文分别研究了不同厚度的Al(200、400和600 nm)、Si3N4/Mo/Si,Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片(100/50/200 nm,100/50/150/150/250 nm)和Al/Mg/Al滤片对13～43 nm光谱高次谐波的抑制效果.研究结果显示,400 nm厚的Al滤片适合于17～33 nm光谱高次谐波的抑制,在保证探测器信号强度的条件下,高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例＜2%,经探测器量子效率修正后,高次谐波比例＜0.6%.Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片可以有效地抑制13～19 nm的高次谐波,Al/Mg/Al滤片对30～43 nm的高次谐波有很好的抑制作用.这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确定标奠定了基础.

利用840 l/mm的金膜透射光栅分光和AXUVl00G光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17～33nm波段高次谐波的抑制情况.结果表明,A1滤片厚为400nm时,在17～33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度,高次谐波信号强度分量小于2%.经过探测器量子效率修正后,高次谐波分量小于0.6%,这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义.