1 西安工业大学 陕西省薄膜与检测技术重点实验室, 西安 710021
2 中国兵器科学研究院宁波分院, 浙江 宁波 315103
基于菲索干涉的变频相移技术, 提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算, 在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点来实现对每步相移值的准确标定.结果表明, 该标定方法的标定准确度优于传统标定方法, 且标定准确度提高了2~3个数量级.该方法不仅避免了传统相移标定中存在的随机误差, 也彻底消除了累积误差.
干涉测量 变频相移 相移标定 菲索干涉 傅里叶变换 Interferometry Wavelength tuning phase-shifting Phase-shifting calibration Fizeau interferometry Fourier transform 光子学报
2016, 45(7): 070712001
西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室, 陕西 西安 710032
相位提取的精度直接影响相移干涉测量的精度。在变频相移干涉测量中，相移量由干涉腔长和波长变化量决定，必须对测试系统进行相位标定，但常因相位标定不精确而引入相移误差，影响相位提取的精度。运用一种基于迭代的相位求解算法，该算法无需对测试系统进行相位标定，可以在被测相位和相移量均未知的情况下，通过交替迭代法求解出被测相位。通过仿真比较了传统四步相移和基于迭代的相位求解算法的相位提取精度，结果表明，基于迭代的相位求解算法的相位提取精度优于传统四步相移算法的精度。
测量 变频相移 相移干涉 相位提取 迭代算法
