1 西安工业大学 陕西省薄膜与检测技术重点实验室, 西安 710021
2 中国兵器科学研究院宁波分院, 浙江 宁波 315103
基于菲索干涉的变频相移技术, 提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算, 在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点来实现对每步相移值的准确标定.结果表明, 该标定方法的标定准确度优于传统标定方法, 且标定准确度提高了2~3个数量级.该方法不仅避免了传统相移标定中存在的随机误差, 也彻底消除了累积误差.
干涉测量 变频相移 相移标定 菲索干涉 傅里叶变换 Interferometry Wavelength tuning phase-shifting Phase-shifting calibration Fizeau interferometry Fourier transform 光子学报
2016, 45(7): 070712001
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
为解决移相干涉仪(PSI)测量平板类光学元件面形过程中产生多表面干涉条纹混叠的问题，介绍了基于波长移相的多表面干涉条纹分析方法的基本原理。对三表面干涉测量进行仿真分析，通过对随时间变化的干涉图进行傅里叶变换，提取相应频谱级次的相位，可求得前后表面面形分布。比较了不同取样帧数及不同干涉光频谱变化范围下的误差最大值与方差的变化。与原始仿真面形比较，在理想情况下，该方法测得面形误差优于10－4λ。采用该方法对一实验元件的三表面干涉图进行分析计算，并与Zygo干涉仪测量值比较，结果表明，元件面形峰谷值（PV）与均方根值(RMS)相对误差均低于1%。
测量 波长移相 多表面干涉 中国激光
2013, 40(10): 1008007
南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
为抑制Φ600 mm相移式菲佐干涉仪中波长调谐误差以及振动带来的测量误差，提出了一种可用于波长调谐移相干涉仪的误差校正方法。将4幅载频干涉图按列交叠重构得到时空条纹图，由于载频的存在实现了误差谱与相位谱的分离，提取相位谱就可以正确解包相位。存在波长调谐误差和振动的情况下，仿真结果表明利用载频交叠重构干涉术，相位恢复精度是传统移相算法精度的10倍以上；实验结果显示，载频交叠重构干涉术的测量精度为0.0066λ。利用载频交叠重构干涉术能够有效抑制Φ600干涉仪中波长调谐误差与振动造成的测量误差。
测量 光学测量 波长调谐移相技术 Φ600干涉仪 相移误差
