针对体声波(BAW)滤波器声-电磁协同仿真结果中滤波器的左传输零点向左偏移的现象, 验证仿真中共地电感效应的存在并分析其对滤波器性能的影响。通过分别改变BAW滤波器原始布局中的并联薄膜体声波谐振器(FBAR) P1和P4引线到地的位置, 即将并联FBAR P1和P4引线到地的路径分别变短后进行声-电磁协同仿真。结果对比表明: 声-电磁协同仿真中并联FBAR引线到地与输入、输出端口之间存在共地电感效应。将并联FBAR引线到地的路径变短, 滤波器在声-电磁协同仿真中形成的共地电感效应减小, 带外抑制性能变好。共地电感效应对于并联FBAR谐振区面积越小的支路影响越大。故在BAW滤波器声-电磁协同仿真中需考虑共地电感效应对滤波器左传输零点和左带外抑制性能的影响。

针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波(BAW)滤波器，其技术指标为：中心频率2.46 GHz，带宽41 MHz，带内插损大于-3 dB，带内纹波小于1 dB，带外抑制小于-40 dB@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)的叠层结构；使用变迹法设计了各FBAR(电极)的形状；采用一种自行开发的自动布局方法得到紧凑的BAW滤波器布局；建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型，通过这种高保真的多物理场仿真方法对设计结果进行了性能验证。该设计流程是通用的，并且有两个特点：采用声-电磁协同仿真方法对设计阶段的BAW滤波器进行最终性能检验，可以及早发现并拒绝1D Mason模型过于乐观的设计；滤波器布局设计中采用了一种新的自动化布局方法，大大简化了在此阶段的反复尝试工作，也为声-电磁协同仿真模型输出了必需的面内结构信息。

为了保证移动设备在Wi-Fi频段正常工作且不受相邻频段的干扰，设计了一种用于Wi-Fi IEEE802.11b频段(2402~2482 MHz)的BAW滤波器。设计基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的一维Mason等效电路模型构成初始结构的梯形滤波器。然后，将串联FBAR的谐振区面积值以及串、并联FBAR的谐振区面积的比值设置为优化参数，以所需的滤波器的带内插损和带外抑制为优化目标，使用ADS软件基于遗传和梯度的优化算法对滤波器进行优化。在滤波器的设计过程中，为了使仿真结果更加精确，采用声电磁协同仿真方法对滤波器进行仿真，并与Mason 等效电路模型仿真结果对比，结果表明，滤波器性能有所下降，带内插损增大1.6 dB，带内纹波增大1.1 dB，带外抑制基本一致。所设计的Wi-Fi频段的BAW滤波器具有低插入损耗(小于3 dB)、高带外抑制(大于40 dB)性能。