1 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室， 浙江 杭州 310027
2 精密光学工程研究中心， 四川 成都 610041
大口径长焦距透镜的波面检测目前仍没有一种行之有效的方法。为解决此问题，结合塔尔博特效应、叠栅条纹检测等现有技术手段，提出一种通过子孔径波面二维扫描对长焦距大口径透镜进行波面检测的新方案，并改进传统测量光路，兼顾测量精度和工程化，完成测量样机的研制。该方案通过子孔径波面二维扫描的方法获取子波面斜率，再通过以泽尼克多项式为基底模型、奇异值分解的模式法重构波面。经与WYKO激光干涉仪测量结果比较验证，测量方案正确可靠，测量样机能够应用在实际测量中。
光学测量 塔尔博特效应 叠栅条纹 子波面斜率 泽尼克多项式 奇异值分解法
浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,微系统中心,浙江,杭州,310027
为了实现大口径长焦距透镜波面精确测量,提出了一种基于朗奇光栅泰伯效应、莫尔条纹技术的子波面斜率测量方法.当子孔径光束照射在朗奇光栅上时,在光栅后周期位置出现光栅的泰伯像,如果将另一朗奇光栅放在光栅泰伯像的位置,在这块光栅后就会形成莫尔条纹,莫尔条纹会因子孔径光束的斜率微小变化而产生移动,通过计数移动的莫尔条纹数就可以得出子孔径光束的波面斜率.文章推导了子波面斜率的计算公式并进行了理论分析,从实验上对理论分析进行了验证.这种方法能够用于大口径波面检测中子孔径波面斜率的精确测量.
子波面斜率 Ronchi光栅 Talbot效应 莫尔条纹
