提出了一种干涉图预处理的新方法。该方法利用数学形态学的方法对干涉图进行有效区域的边缘提取，利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓，并采用非加权离散余弦变换最小二乘算法对干涉图进行波面统一，最终恢复出被测物体的表面面形，为后续结果分析奠定了基础。对一个实际SiO2薄膜样片进行了干涉图的预处理。结果表明，通过该算法得到的干涉图预处理结果，与Zygo干涉仪的分析测试结果基本一致。
干涉图处理 数学形态学 二维傅里叶变换 最小二乘法 interference image processing mathematical morphology 2-D FFT least square method
西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032
利用现代干涉测量方法测量薄膜厚度具有全场测试、高精度和非接触性测量的优点,其核心是用合理的算法从干涉图中获得所需的被测面面形及参数。该方法的基础和关键是对所采集到的干涉图进行图像预处理。就干涉图的采集及其预处理技术提出了一种干涉图预处理的方法,该方法利用数学形态学对干涉图进行有效区域的边缘提取,利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓,并采用非加权离散余弦变换(DCT)最小二乘算法对干涉图进行波面统一,最终恢复出薄膜的被测面形,为后续精确获取薄膜厚度信息奠定基础。对一个实际SiO2薄膜样片进行了干涉图的采集以及预处理。结果表明,通过本算法得到的干涉图预处理结果,与Zygo干涉仪的分析测试结果基本一致。
测量 薄膜厚度 干涉图处理 数学形态学 二维快速傅里叶变换 最小二乘算法
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 长春 130033
短波光学的迅猛发展和高精密光学仪器的需求日益增多，对高精度表面的加工与检测也随之重要起来。而在一般的干涉检测中，球面镜检测精度主要依赖参考镜的精度。利用Jensen提出的干涉仪绝对校准理论可以去除参考镜的误差和干涉仪的附加波像差，从而提高被测件测量精度。在研究Jensen绝对校准理论的基础上，提出一种利用泽尼克(Zernike)多项式进行波面相位转换的方法进行波面处理，并提出具体实施方案。对面形精度优于λ/37小凸球面进行测量得出了较好的结果，打破了标准镜头最优λ/20的局限，使这一理论简单易行地赋予应用。从而实现了高精度检测球面面形。
光学测量 绝对测量 干涉图处理 泽尼克多项式
南京理工大学,电子工程与光电技术学院,南京,210094
介绍了阴影噪声校正的方法,对干涉图中阴影噪声的类型进行说明,提出了在空域上对干涉图中加性阴影噪声校正的模板分块取最小值法和手动判据法以及乘性阴影噪声校正的高斯模糊方法,并且进行了理论分析和实际干涉图像处理,验证了其可行性,同时得到比较理想的结果.
干涉图处理 阴影校正 加性噪声 乘性噪声 高斯模糊
中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022
介绍了一种用于中心遮拦的大口径干涉仪的干涉条纹处理软件。该软件通过对干涉数据进行采集、处理而得出被检波面的波差分布和像差。由于对干涉图数据拟合过程中所使用的泽尼特(Zernike)多项式进行了修正,因此得到的结果的准确度也有了较大的提高。
中心遮拦 干涉图处理 泽尼特多项式
本文提出一种校正干涉图不对称性的新方法.采用本方法进行一次处理,就可把严重失对称的干涉图变成对称,从而可校正因相位误差而造成的复原光谱畸变.理论和实验都证明此方法比目前通用的各种相位校正方法有更好的效果.
相位差校正 干涉图处理 傅里叶变换光谱学
