1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关，需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪，提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法两帧差分平均移相算法(TDA)。对该算法进行模拟仿真，验证了算法的可行性和计算精度，并进一步开展了实验研究。结果表明：运用TDA算法处理定步长移相干涉图可以获得与实际值接近的计算结果；利用TDA算法标定的波长移相干涉仪的测量面形均方根(RMS)重复性优于0.07 nm(1.106λ/10000)，达到了设计指标；用该干涉仪与Zygo干涉仪对相同元件进行比较测量，检测结果之差的RMS为0.742 nm。
测量 波长移相干涉仪标定 移相算法 可调谐半导体激光器 中国激光
2013, 40(11): 1108004
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机，采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理，对振动、空气扰动和激光光源不稳定性等随机误差进行了理论分析，建立了相应的数学模型。结合误差模型进行数值仿真，获得了各随机误差大小与测量结果之间的数值对应关系，完成了激光器和CCD相机的选型和误差分配。搭建了波长移相干涉仪实验装置并对其重复性进行测量。实验结果表明，搭建的波长移相干涉仪的均方根(RMS)重复性优于0.07 nm，基本达到设计指标。
测量 重复性分析 数值模拟 蒙特卡罗法 波长移相干涉仪 中国激光
2013, 40(10): 1008003
