上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 上海 200240
由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中, 不可避免地会引入馈通信号, 而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性, 不能有效地消除馈通信号。针对此问题, 提出了一种基于反相信号的馈通取消方案, 通过在驱动和检测电极之间施加与馈通信号反相的信号, 从而抵消馈通效应带来的干扰, 该方法理论上可以在不降低驱动力的情况下将馈通信号完全取消。实验结果表明, 该方法能有效消除馈通信号对电容检测的影响, 谐振峰高度可提高约25倍。
微多环陀螺仪 电容检测 馈通效应 电学模型 馈通取消 micro multi-ring resonant gyroscope capacitance detection feed-through effect electrical model feed-through cancellation
1 中国科学技术大学 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室, 安徽 合肥 230027
2 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
与传统的有基底FPA(焦平面阵列)相比, 基于全镂空支撑框架结构的新型无基底FPA在热学特性上存在显著差异, 传统的基于恒温基底假设的热学分析模型不再适用, 因此, 通过电学比拟方法, 将无基底FPA的热响应特性等效为电学模型.通过该模型, 进一步分析了无基底FPA在非真空环境下的热学性能, 分析表明: 该无基底FPA具有在大气压下优良的红外成像性能, 其NETD(噪声等效温度差)值仅比真空环境下增加了数倍.
非制冷红外成像 等效电学模型 电学比拟 光学读出 焦平面阵列 uncooled infrared imaging equivalent circuit model electrics and holistic approach optical readout focal plane array
