红外与激光工程
2022, 51(9): 20220611
1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
凸非球面, 尤其是离轴凸非球面的光学检验一直是非球面加工中的难点。针对离轴凸非球面光学元件加工检验困难的问题, 研究了一种改进的Hindle方法, 解决了经典的透射式Hindle方法需要大口径辅助弯月透镜等不足。针对大口径离轴凸非球面的检测, 设计了一个特殊结构的补偿器组, 并对补偿器的加工和装调进行分析、仿真和优化, 对整个补偿检测系统进行公差分析, 并给出了相应的结果, 同时也可以把此设计推广到更大口径的离轴凸非球面镜的面形检测中去。
光学检测 光学设计 离轴凸非球面 非球面加工 面形检测 optical test optical design off-axis convex aspheric surface aspheric surface fabrication mirror surface shape detection
1 苏州大学现代光学技术研究所, 江苏 苏州 215006
2 苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
设计一种特殊的应用于计算全息法(CGH)高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统。该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近似共光路系统,降低照明系统的制造精度。分析了照明系统的几何光路模型,将复杂的两用途系统简化,得到照明系统工作距离、照明系统焦距以及参考面曲率半径三个特征参量之间的关系。设计时,通过控制这几个特征参量,得到满足检测要求的系统初始结构。设计结果表明,该方法可以满足系统使用要求。
全息术 计算全息法 离轴凸非球面 照明系统 近似共光路