长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
根据紫外光学系统的设计要求，在K9基底上研制了254nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论，通过针法优化，获得了干涉型低通滤光片的膜系；对电子束蒸镀HfO2和MgF2材料进行了研究，解决了材料喷溅的问题，减少了薄膜的吸收；采用考夫曼离子源，通过优化工艺参数，提高膜层致密性，解决了光谱曲线漂移的问题，改善了成膜质量。
紫外低通滤光片 考夫曼离子源 电子束蒸发 材料吸收 UV low-pass filter Kaufman ion source electron beam evaporation material absorption
