介绍了采用CO2激光器对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)板进行刻蚀制备微流道的工艺实验。通过实验分析工艺参数对微流道深度和宽度的影响及其中变化规律。结果表明，激光线能量密度与刻蚀微流道宽度两者关系呈指数增长，得到了线能量密度和微流道宽度的数学拟合公式，曲线和数据点拟合决定系数R2=0.96。当线能量密度小于300 J/m时，微流道深度与线能量密度呈近似线性关系；当线能量密度大于300 J/m时，偏离线性关系。通过理论计算得到在低线能量密度下微流道深度的变化曲线图，并与实际测量值吻合较好。最后，通过优化工艺参数，制备出微流道宽度为170 μm，深度为180 μm的生物芯片。
激光刻蚀 聚甲基丙烯酸甲脂 CO2激光 微流道 深度模型 激光与光电子学进展
2011, 48(4): 041401
中国科学院西安光学精密机械研究所,光电子学室,西安,710068
以聚甲基丙烯酸甲脂为材料,采用热压成型工艺加工成型线聚焦菲涅尔聚光透镜(8×),可用于空间、地面光伏系统太阳电池组件的聚光系统,并对在其聚光条件下,太阳电池的电流电压特性进行测试,结果表明,该菲涅尔线聚焦棱镜能有效提高太阳电池的单位输出功率.模具的机械加工精度和光学抛光精度低,是造成其部分聚光率损失的原因.
菲涅尔透镜 太阳聚光器 聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)
