采用NbC/Si材料组合设计多层膜Laue透镜,总膜厚为40 μm,利用衍射动力学理论分析多层膜Laue透镜对硬X射线的衍射效率及聚焦分辨率。通过两种方法提高多层膜Laue透镜的分辨率。第一种方式是减小膜层的最外层宽度,该方法要求结构必须是楔型结构,制备极其困难。第二种方法是使用多层膜Laue透镜的高级次,该方法在不增加制备难题的前提下能有效提高分辨率。通过使用多层膜Laue透镜的-3级次,对10 keV硬X射线获得了分辨率为6.72 nm,衍射效率为49.31%的聚焦光斑。
X射线 多层膜Laue透镜 衍射动力学 衍射效率 高级次 X-ray multilayer Laue lens dynamical diffraction theory diffraction efficiency high order
同济大学物理系精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
基于多层膜技术的劳厄(Laue)透镜能实现硬X射线纳米级聚焦，在X射线微纳分析领域具有重要的应用前景。基于衍射动力学理论，分析了X射线在多层膜劳厄透镜中的传播，计算了不同结构的多层膜劳厄透镜对8 keV X射线的聚焦性能。结果表明，最外层厚度为5 nm的倾斜多层膜劳厄透镜可获得5.7 nm的聚焦光斑和26％的平均衍射效率。
X射线光学 多层膜劳厄透镜 衍射动力学 波带片 分辨率
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室, 长春 130022
从动力学原理出发对X射线布拉格-菲涅耳多层膜一维聚焦镜的近似设计理论作了推导,给出了近似方程并对近似理论作了误差分析。同时给出了作者编制的数值化计算机程序系统的设计框图及其设计结果,也给出了多层膜膜系设计结果。
布拉格-菲涅耳多层膜一维聚焦镜 衍射图形模式 衍射动力学
