1 中国科学院光电技术研究所， 四川 成都 610209
2 电子科技大学光电信息学院， 四川 成都 610054
3 中国科学院大学， 北京 100049
4 华南理工大学电子与信息学院， 广东 广州 510540
双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点，适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量，实际应用中要求掩模光栅标记与硅片光栅标记高度平行。掩模光栅标记在CCD中成像通常存在一定的倾斜角。由此，在已提出的相位斜率倾斜条纹标定方法上，提出了一种改进方法。该方法充分利用掩模光栅45°和135°两个方向的相位信息标定CCD的成像位置，以实现掩模光栅条纹的标定。对比两种方法分析表明，改进后的方法具有倾角测量范围大、抗噪性强、精度高等优点，理论极限精度优于0.001°量级。
光栅 掩模光栅 光刻对准 角度标定 叠栅条纹
提出了一种基于特征圆单目视觉的非接触式飞机舵面角位移标定技术。用一台数码摄像机对固定在飞机舵面上的特征圆进行拍照，经数字图像处理后确定五个特征点的坐标，利用针孔成像和射影变换原理建立物像空间坐标解算模型，计算出特征圆的法线相对方向和圆心的相对位置，舵面角位移由该圆的法线方向确定。仿真结果表明，该方法具有标定过程简单、实时、快速和准确的特点，标定精度可达到0．1°。该技术也可用于航天器上实时测量交会对接时的相对位姿参数。
单目视觉 特征圆 数码摄相机 射影变换 角度标定 monocular vision characteristic circle digital camera projective change calibration of the angle of rotation
