1 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所, 南京 210042
2 南京天文光学技术研究所中国科学院天文光学技术重点实验室, 南京 210042
3 中国科学院大学, 北京 100049
在光学镜面相位恢复检测中,由于CCD相机的横向失调和光路中倾斜误差的存在,采集图像会发生错位,影响检测结果的准确性。为了克服光路校准带来的困难,基于快速傅里叶变换图像配准算法以及梯度相位恢复算法,提出了亚像素图像配准相位恢复 (SIRPR) 算法。通过仿真,验证了该算法对于光路的横向偏移和镜面倾斜具有良好的矫正作用。对一块直径为110 mm的凹面反射镜进行实验测量,并利用SIRPR算法处理含明显错位光斑的光强图,将计算获得的面形结果与干涉仪直接测量的结果进行对比,面形之差的方均根值为0.1047λ(λ为波长),验证了算法的准确性。
测量 相位恢复 相位测量 镜面检测 光学检测 光学制造 光学学报
2020, 40(13): 1312003
中国科学院南京天文仪器研制中心, 南京 210042
介绍利用微机图像处理技术消除气流在天文镜面检测中的干扰,提高天文镜面检测质量,达到大幅度缩短天文镜面加工周期的目的。
天文镜面检测 图像处理 排除气流
