光子学报, 2007, 36 (11): 2115, 网络出版: 2008-07-08
入射角和薄片表面特性对激光干涉测温的影响
Influences of Incidence Angle and Surface Characteristic of Thin Slice on Laser Interference Thermometry
摘要
以激光干涉为理论基础,采用具有不同表面光学特性的单晶硅片和K-8光学玻璃为样品,针对不同的测量条件,研究干涉条纹对比度变化对温度测量的影响.分析了薄片干涉条纹对比度与测量光束直径、入射角、样品表面粗糙度以及表面镀膜之间的相互关系,研究了薄片的横向温度梯度对干涉对比度的影响.实验结果表明,上述各因素对温度测量参量对比度产生的影响具有规律性,并在一定对比度阈值条件下,能够满足精确测温的条件要求.
Abstract
石友彬, 李慎德, 王文华, 陈春雷. 入射角和薄片表面特性对激光干涉测温的影响[J]. 光子学报, 2007, 36(11): 2115. 石友彬, 李慎德, 王文华, 陈春雷. Influences of Incidence Angle and Surface Characteristic of Thin Slice on Laser Interference Thermometry[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(11): 2115.
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