光子学报, 2007, 36 (4): 655, 网络出版: 2007-09-17
全息平面变间距光栅位移传感器研究
Study on Position Sensor of Holographic Variable Line-Space Plane Gratings
摘要
基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05 mm,相对误差可以控制在0.2% FS之内,优于设计指标.
Abstract
楼俊, 付绍军, 刘正坤, 徐向东, 何世平, 李秉实, 吴忠. 全息平面变间距光栅位移传感器研究[J]. 光子学报, 2007, 36(4): 655. 楼俊, 付绍军, 刘正坤, 徐向东, 何世平, 李秉实, 吴忠. Study on Position Sensor of Holographic Variable Line-Space Plane Gratings[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(4): 655.
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