应用激光, 2023, 43 (2): 93, 网络出版: 2023-03-30
基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究
Study on the Processing of Wafer Marking Based on General F-Theta Lens and Telecentric F-Theta Lens
基本信息
DOI: | 10.14128/j.cnki.al.20234302.093 |
中图分类号: | O436 |
栏目: | 激光加工 |
项目基金: | 上海市科学技术委员会科研计划项目(19511130500) |
收稿日期: | 2022-08-18 |
修改稿日期: | 2022-09-24 |
网络出版日期: | 2023-03-30 |
通讯作者: | 舒天娇 (1106679388@qq.com) |
备注: | -- |
舒天娇, 杜远超, 李国旗, 陈媛, 张玲玲, 马永新, 高垠芮, 胡豪威, 陈宇. 基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究[J]. 应用激光, 2023, 43(2): 93. Shu Tianjiao, Du Yuanchao, Li Guoqi, Chen Yuan, Zhang Lingling, Ma Yongxin, Gao Yinrui, Hu Haowei, Chen Yu. Study on the Processing of Wafer Marking Based on General F-Theta Lens and Telecentric F-Theta Lens[J]. APPLIED LASER, 2023, 43(2): 93.