作者单位
摘要
西安工业大学光电工程学院,陕西 西安 710021
针对机器视觉检测光学镜片表面疵病时,在单一的照明环境下疵病图像对比度低,检测方法疵病识别率低等问题,提出了一种双光源下光学镜片表面疵病视觉检测方法。根据散射成像原理,在前照光和背照光两种不同的照明方式下,使用图像传感器得到含有疵病的被测光学镜片图像;再将多幅图像通过图像融合算法融合为一幅图像;最后,利用识别算法获得光学镜片表面的疵病尺寸信息。对两种不同的疵病(划痕、麻点)进行检测,将本系统的测试结果与ZYGO干涉仪的处理结果进行对比,结果表明,所提方法测量的麻点误差不超过2.7%,划痕误差不超过0.8%,检测效率比干涉仪提高了98.24%,缩短了检测时间。与单一照明环境下的检测方法和人工检测相比,所提方法对疵病的识别准确率与精度更高。
疵病检测 双光源 机器视觉 散射成像 图像融合 
激光与光电子学进展
2024, 61(10): 1012004

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