1 中电科芯片技术(集团)有限公司,重庆 400060
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
3 重庆城市管理职业学院 大数据与信息产业学院,重庆 400030
针对微机电系统(MEMS)压阻式压力传感器受环境温度影响产生温度漂移的问题，该文分析了常用的温度补偿方法，提出了一种基于粒子群优化-径向基函数(PSO-RBF)的压力传感器温度补偿模型，结合标定实验采集的样本数据，建立了标定压力同敏感元件输出电压和温度的非线性映射关系，实现了温度补偿效果。结果表明，与传统的最小二乘法、三次样条插值法、标准RBF、粒子群优化反向传输神经网络(PSO-BP)、核极限学习机(ELM)神经网络等方法相比，该算法具有更好的补偿预测效果，且对样本数据不需要归一化处理，具有良好的工程实践意义。
微机电系统(MEMS) 压阻式压力传感器 温度补偿 归一化 micro-electro-mechanical system(MEMS) piezoresistive pressure sensor PSO-RBF PSO-RBF temperature compensation normalization
