内蒙古工业大学 机械学院，内蒙古 呼和浩特 010051
通过推导激光三角测量系统的灵敏度公式，分析了光学结构参数对系统灵敏度的影响，主要包括被测表面起伏量、成像系统的放大倍率与工作角。建立表面粗糙度的激光三角测量系统，重点针对工作角对灵敏度的影响关系进行实验研究。结果显示，较大的工作角能够获得更高的系统灵敏度。但是当工作角较大时，需考虑工作角与系统放大倍率对灵敏度的综合影响，并保证光接收器上的光强大于其灵敏度。对于文中采用的测量系统，最高的系统灵敏度所对应的工作角约为70°左右。
激光三角法 系统灵敏度 工作角 表面粗糙度 laser triangular method systems sensitivity working angle surface roughness
