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同名作者【方桐】论文列表

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Millimeter Wave and Terahertz Technology

基于65 nm标准CMOS工艺的3.0 THz 探测器

方桐 ^1,3刘力源 ^1,3,*刘朝阳 ^1,3冯鹏 ^1,3[ ... ]吴南健 ^1,3

作者单位

摘要

¹ State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing00083, China

² Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing100083, China

³ Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing100049, China

基于Dyakonov和Shur等离子体波振荡原理设计并流片制备了一种采用65 nm 标准CMOS工艺的3.0 THz探测器，探测器包括贴片天线、NMOS场效应晶体管、匹配网络及陷波滤波器。探测器在室温条件下可达到526 V/W的响应率（Rv）和73 pW/Hz^1/2的噪声等效功率（NEP）。采用该探测器和步进电机搭建了太赫兹扫描成像系统，获得了太赫兹源出射光斑的远场形状，光斑的半高宽（FWHM）为240

μ m

；并对聚甲醛牙签和树叶进行了扫描成像实验，结果表明CMOS太赫兹探测器在成像领域有潜在的应用前景。

太赫兹太赫兹成像太赫兹探测器 CMOS CMOS THz terahertz imaging terahertz detector

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红外与毫米波学报

2020, 39(1): 56

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