1 上海理工大学光电信息工程与计算机学院，上海 200093
2 上海市计量测试技术研究院，上海 201203
通过对于首层金属膜的 SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度，同时用柱面光与 CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据 CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线，并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究，得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。Metal Films Thickness Based on SPR
表面等离子体振荡 柱面光 多层金属薄膜 在线测量 surface plasma resonance cylindrical light multilayer metal films online measurement
1 上海理工大学 光电信息工程与计算机学院, 上海 200093
2 上海市计量测试技术研究院, 上海 201203
当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时, 由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数, 用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理,可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚, 这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数, 故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰, 该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点, 并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值。实验结果表明, 该方法的平均测量误差可低于0.4nm。
应用光学 表面等离子体振荡 在线纳米测量 膜厚 applied optics surface plasma resonance (SPR) online nanomeasurement thickness of film
提出一种基于等效光速减缓的光纤磁场强度传感方法,可用于细长型沿轴线呈线性分布的线圈的场强测量.工作时,多束激光可在光折变光纤内写入固定和移动两种光栅.将光纤置于特定磁场中,磁光效应导致部分光栅失效,从而改变了光速的等效减缓量.实测减缓量即可间接测得磁场强度值.
光折变物质 光栅写入 光速减缓 磁光效应 磁场强度
