鲁东大学物理与电子工程学院,山东,烟台,264025
本文分析了常见的MEMS天线及其应用,包括多对称锥形弯曲缝隙微带天线、用于WIJAN中的微尺度宽频天线、开关式微机械毫米波天线、微机械自适应贴片天线等,对这些天线的结构原理、制造方法及其性能做了分析.这些天线设计简单、可用CMOS工艺制造、利于集成,兼有宽频、高辐射效率、小尺度等优点.但相对普通天线而言,这些制造工艺明显复杂、尺度更微小,增加了实现难度,要实现MEMS天线批量应用,还需要在基础理论及其微细工艺进行研究.最后,对MEMS天线在无线通信系统中的应用作出展望.
无线通信 天线 微细工艺 MEKS
1 烟台师范学院,烟台,264025
2 华信邮电咨询设计研究院有限公司,杭州,310014
3 重庆通信学院,重庆,400039
分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的 MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.
微尺度 微机械技术 滤波器 共面波导
