为了提高半圆柱阻流体无阀压电泵的流量，结合锥形腔的流阻不等特性，该文设计了一种半圆柱阻流体锥形腔无阀压电泵，并建立了其流量的理论公式。数值模拟了该泵的泵腔流速分布，对比分析了其与半圆柱阻流体无阀压电泵的阻力特性。模拟结果表明，半圆柱阻流体锥形腔无阀压电泵能实现流体的单向输送，且其输送能力优于半圆柱阻流体无阀压电泵。制作了两种泵的样机并进行了流量和压力差试验。试验结果表明，在驱动电压220 V下，半圆柱阻流体锥形腔无阀压电泵的最高流量和压力差分别为30.96 g/min和394 Pa，与半圆柱阻流体无阀压电泵相比，其流量和压力差均得到提高。

为了克服传统超声电机测控系统参数调控不灵活、特性测试分析不全面、控制算法效率低等问题, 本文介绍了一种能对超声电机主要机电参数进行测量和控制的实验系统。依据超声电机参数特点与输入输出特性提出了测控系统总体方案。针对变预压力特性与温度特性难以快速获取的问题, 设计了以电动缸为出力源的预压力施加装置和以薄膜热电阻为敏感源的界面温度采集装置; 针对高频激励信号难以灵活产生和实时采集的困难, 设计了多参数可调的驱动与采集电路; 针对电机特性测控低效、过程不够规范的问题, 形成了标准化测控流程, 尤其是提出了能够精细化分析瞬态特性的同步采集和控制流程。测试结果表明, 本系统覆盖了超声电机主要的8项控制参数与13项状态参数, 能够实现控制参数的在线精确调控与状态参数的快速测量, 测试效率较传统的超声电机测控系统提高了30%, 为超声电机的动力学建模、特性评估及运动控制算法研究提供了较为完善的测控手段。