1 北京信息科技大学 传感器重点实验室, 北京100192
2 北京信息科技大学 现代测控技术教育部重点实验室, 北京100101
锆钛酸铅(PZT)具有灵敏度高,响应速度快及压电常数大等优点, 已被广泛应用于触觉传感器及超声换能器等领域。该文首先对基于PZT的触觉传感器的原理及制作工艺进行了阐述, 再从材料优化、结构优化、柔弹性优化和可扩展性优化4个方面概述了PZT触觉传感器的研究进展, 讨论了其在运动检测、医疗健康和人机交互领域的实际应用, 最后对PZT触觉传感器的不足和未来发展趋势进行了分析。
锆钛酸铅 触觉传感器 压电 柔性 lead zirconate titanate tactile sensor piezoelectric flexible
