作者单位
摘要
中国地震局地球物理研究所, 北京 100081
提出了一种基于对称悬臂梁的小型化低频光纤布拉格光栅(FBG)加速度传感器。首先根据传感器结构的力学模型, 推导出传感器的灵敏度和固有频率表达式; 然后对传感器进行结构参数优化, 采用ANSYS Workbench对传感器进行静应力与模态分析; 最后根据分析结果制作传感器, 并实验研究了传感器的幅频响应、灵敏度特性、横向抗干扰能力和冲击响应。结果表明, 该传感器固有频率为72Hz, 灵敏度为681.7pm/g, 抗横向干扰度小于4.9%, 且体积仅为6.48cm3, 可用于50Hz以下的低频微弱振动信号的实时监测。
加速度传感器 光纤布拉格光栅 对称悬臂梁 低频振动 accelerometer FBG symmetrical cantilever beam low-frequency vibration 
半导体光电
2022, 43(5): 873

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