1 太原学院 物理系, 太原 030032
2 哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院, 哈尔滨 150001
3 聊城大学 物理科学与信息工程学院 山东省光通信科学与技术重点实验室, 山东 聊城 252000
以液相沉积法在FTO衬底上制备了TiO2纳米管阵列, 在室温下利用光沉积法在TiO2纳米管表面修饰金属纳米Ag颗粒, 并采用SEM、EDS、XRD对样品的形貌、成分、结构等进行表征.实验结果表明, 制备的TiO2纳米管分布均匀, 由锐钛矿相组成, 并在管壁有明显的纳米Ag颗粒附着.以Pt为对电极制备了Ag/TiO2纳米管紫外探测器, 光响应测试结果表明, Ag/TiO2纳米管紫外探测器具有可见光盲特性, 可以实现对紫外光的探测.与TiO2纳米管紫外探测器相比, Ag修饰TiO2纳米管紫外探测器光电流密度提高至91 μA/cm2, 开关比可达2 251, 紫外探测性能显著提高.
TiO2纳米管 Ag纳米颗粒 紫外探测器 液相沉积法 光沉积法 TiO2 nanotubes Ag nanoparticles Ultraviolet detector Liquid phase deposition Photodeposition method
中国科学院微电子研究所 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029
采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜, 利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究, 结果表明, 液相生长的二氧化硅薄膜致密平整, 含有少量的F元素; 对硅具有较好的减反和钝化作用, 平均反射率由28.87%降低至10.88%, 表面复合速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s。
液相沉积 二氧化硅薄膜 钝化 liquid phase deposition SiO2 film passivation
将基片浸入到低温SiO2过饱和的六氟硅酸(H2SiF6)溶液中,在其表面上沉积SiO2薄膜。这种新的生长工艺称之为液相沉积(LPD)。本文着重介绍LPD工艺及LPD SiO2薄膜的特性。
液相沉积 SiO2薄膜 Liquid phase deposition SiO2 film
