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相同关键词【degassing process】论文列表

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研究论文

电子敏感CMOS部件除气方法

李桐桐 ^1,2,*肖超 ^1,2焦岗成 ^1,2闫磊 ^1,2[ ... ]李成林 ^1,2

作者单位

摘要

¹ 微光夜视技术重点实验室，陕西西安 710065

² 昆明物理研究所，云南昆明 650223

电子轰击有源像素传感器（electron bombarded active pixel sensor, EBAPS）作为真空-固体混合型微光器件，其性能和工作寿命一定程度上取决于器件内部真空度保持情况。分析造成EBAPS器件真空度下降的原因，推断出真空度恶化的严重后果，提出提高和保持EBAPS器件内部真空度的手段，通过搭建超高真空除气系统对EBAPS器件中核心部件电子敏感CMOS部件的放气特性进行了研究，并根据研究结果得到最佳的除气工艺参数，为EBAPS数字化微光器件的制备提供了技术基础。

电子轰击有源像素传感器电子敏感CMOS 放气特性除气工艺 electron bombarded active pixel sensor electronic sensitive complementary metal-oxide-semiconductor discharging characteristics degassing process

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应用光学

2022, 43(6): 1181

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