吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春 130012
选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料，旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层，设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极，获得了调制器的调制信号响应.针对SF6气体刻蚀聚二甲基硅氧烷的再淀积现象，提出了采用SF6和O2的混合气体对聚二甲基硅氧烷进行反应离子刻蚀的方法，发现当SF6∶O2流量比为50 sccm∶10 sccm时，刻蚀形成的凹槽侧壁陡直，底部平坦;实验制备的倒脊形马赫-曾德尔波导在1 550 nm波长下通光良好.
聚二甲基硅氧烷 旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯 反应离子刻蚀 聚合物电光调制器 Polydimethylsiloxane Poly［(methyl methacrylate)-co-(Disperse Red 1 met Reactive ion etching Polymer electro-optic modulator
1 新疆大学信息科学与工程学院,乌鲁木齐,830046
2 山东科技大学工程物理研究所,山东,泰安,271019
采用物理吸附方法制备出多孔硅和偶氮化合物染料分散红(DR1)的复合薄膜.用单光束扫描法研究了多孔硅/DR1复合膜的三阶非线性光学性质,测量了在1064 nm处多孔硅/DR1复合膜的双光子吸收系数和非线性折射率.实验结果表明,同多孔硅相比,多孔硅/DR1复合膜三阶非线性光学效应明显得到了增强.
多孔硅 分散红1 单光束扫描法 三阶非线性光学 Porous Silicon Disperse red 1 （ DR1） Single beam technique（ Z-scan） Third order optical Nonlinearities
