中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京 100083
为了获得窄线宽太赫兹光源,制作了基于表面金属光栅的单模太赫兹量子级联激光器。通过优化光栅结构,获得了具有较强耦合效率和较低损耗的光栅结构参数。波导结构采用半绝缘表面等离子体波导以便能获得较高的光输出功率。激光器单模激射波长为 95 μm。10 K时,器件最高单模输出功率达到了 43 mW,单模抑制比为 18 dB。单模器件工作温度超过 70 K,在 70 K时,仍然有 5 mW的单模输出功率。这种输出性能良好的激光器有望作为太赫兹接收机的本振源。
太赫兹 量子级联激光器 单模 本振源 terahertz quantum cascade laser single -mode local oscillator 太赫兹科学与电子信息学报
2015, 13(2): 195