作者单位
摘要
江苏大学机械工程学院,江苏 镇江 212013
碳化硅具有优秀的物理化学性能,是制作耐高温高压电子器件的关键材料,应用前景广阔。碳化硅硬度大,传统的机械切割存在崩边大、芯片破损和晶圆利用率低等问题,隐形切割因切割质量好和加工效率高脱颖而出。在多脉冲模式下采用控制变量法研究了碳化硅晶圆隐形切割时激光单脉冲能量、进给间距、脉冲重复频率、脉冲宽度和扫描速度对上下表面烧蚀道宽度、崩边尺寸和断面形貌的影响规律。针对多脉冲模式下存在的崩边大和断面粗糙度高等问题,采用脉冲串模式切割。结果表明,脉冲串模式可以更有效地实现内部改质,从而减小崩边,降低断面粗糙度。
激光技术 超快激光 碳化硅 隐形切割 脉冲串模式 崩边 断面粗糙度 
中国激光
2023, 50(20): 2002405
刘骁征 1李有楠 2张海涛 3,*顾瑛 1,4,**[ ... ]张童 2
作者单位
摘要
1 北京理工大学光电学院,北京 100081
2 清华大学附属北京清华长庚医院血管外科,清华大学临床医学院,北京 102218
3 清华大学精密仪器系激光与光子技术研究室,光子测控技术教育部重点实验室,北京 100084
4 中国人民解放军总医院第一医学中心激光医学科,北京 100853
脉冲串飞秒激光在工业精密加工中展现出低热高效的特性,有望为血栓清除技术提供新型解决方案。以动物血凝块为消蚀样本,将脉冲串飞秒激光与高速振镜相结合来搭建实验平台,对样本表面进行单层扫描消蚀,使用三维超景深显微镜对消蚀坑进行观察和记录,并与相同平均功率下的传统脉冲模式飞秒激光的消蚀结果进行比较。结果表明,相比于传统脉冲模式,脉冲串飞秒激光可以提升消蚀效率并降低消蚀阈值,具有良好的临床研发潜力。
医用光学 飞秒激光 组织消蚀 脉冲串模式 三维显微成像 
光学学报
2023, 43(2): 0217001
吴恩利 1,2代守军 1,2,3轩新想 4何建国 1,2,3[ ... ]余锦 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院空天信息创新研究院,北京 100094
2 中国科学院大学,北京 100049
3 中国科学院计算光学成像技术重点实验室,北京 100094
4 中国电子科技集团公司第三研究所,北京 100015
5 中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119
介绍了一种基于多脉冲模式的皮秒激光脉冲沉积方法,采用该方法在玻璃基底和单晶硅基底上沉积了透明导电氧化锌(ZnO)薄膜,使用光谱椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和四探针测试仪分析了激光的不同脉冲串模式对ZnO薄膜厚度、粗糙度、表面形貌、晶体结构、光学性能以及电学性能的影响。结果表明:沉积速率随着子脉冲串数量的增加而减小;随着子脉冲串数量的增加,薄膜表面粗糙度减小,颗粒尺寸减小,薄膜变得更加致密光滑;所有样品均呈现多晶结构;ZnO薄膜的透过率在可见光区域内高于92.95%,且禁带宽度在3.317~3.427 eV范围内;薄膜电阻率随着子脉冲数量的增加而减小。相比于单脉冲,利用多脉冲沉积产生的薄膜具有更高的表面质量、更好的光学性能和更低的电阻率。
薄膜 脉冲激光沉积法 脉冲串模式 皮秒脉冲激光 氧化锌薄膜 
中国激光
2022, 49(6): 0603003

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