1 钢铁研究总院， 北京100081
2 北京纳克分析仪器有限公司， 北京100094
3 北京有色金属研究总院， 北京100088
4 中国地质科学院矿产资源研究所， 北京100037
激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的， 对表面分析基础理论、 仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述。 重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、 半导体、 电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展， 指出激光束单个脉冲能量、 环境气体及气压、 激光束能量分布等参数对分辨率的影响， 同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。 与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、 分析速度快及样品导电与否均可分析等优点， 成为传统表面分析工具的有力补充。
激光诱导击穿光谱 材料科学 表面分析 应用进展 Laser induced-breakdown spectroscopy Materials science Surface analysis Application progress 光谱学与光谱分析
2012, 32(6): 1441
国防科技大学,机电工程与自动化学院,湖南,长沙,410073
在金刚石超精密车削加工中,刀具与工件之间不可避免地存在一定的振动, 从而影响工件表面质量.本文对在具有振动情况下工件表面的三维形貌进行了仿真,并从理论上对工件表面形貌的径向、周向与刀具螺旋轨迹方向的截面轮廓进行了分析,结果表明不同的截面具有不同的信息特征,并据此对仿真得到的工件表面三维形貌数据进行了振动辨识.
仿真 微观形貌 超精密车削 表面分析
