孙诗壮 1,2金春水 1,*喻波 1,**郭涛 1[ ... ]邓文渊 1
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
使用分子动力学方法计算了Mo、Si原子发生反射和再溅射的概率,以及原子的反射、再溅射角度和能量分布。考虑了四种碰撞:Mo原子与Mo基底碰撞、Mo原子与Si基底碰撞、Si原子与Si基底碰撞、Si原子与Mo基底碰撞。模拟发现,当沉积原子传递给基底的能量降低时,发生反射的概率增加,但是发生再溅射的概率降低。此外,入射角度对反射概率、再溅射概率的影响与沉积原子和基底原子的种类有关;然而,入射能量越高越容易发生反射、再溅射。最后,进行了磁控溅射实验,在具有不同倾斜角度的基底上制备了Mo/Si多层膜样片,实验结论验证了仿真结果。研究结果可以用于模拟磁控溅射镀膜过程,优化镀膜工艺。
原子与分子物理学 分子动力学 反射 再溅射 Mo/Si原子 角度分布 能量分布 
光学学报
2020, 40(11): 1102001
作者单位
摘要
1 深圳大学光电工程学院,光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室, 广东 深圳 518060
2 深圳大学信息工程学院, 广东 深圳 518060
3 深圳大学光电中心, 广东 深圳 518060
4 深圳大学高等研究院, 广东 深圳 518060
光电阴极发射光电子的时间特性影响条纹相机和电子衍射系统等时间分析仪器的时间分辨率。 使用蒙特卡罗方法研究了光电子的能量、角度分布模型的随机抽样方法,对能量的余弦、Maxwell分布给 出了快速的乘抽样方法。计算了光电子的余弦、Maxwell、Beta、Rayleigh、Henke分布等7种能量模型的 时间弥散值。验证了时间弥散计算公式的弥散系数为2.643 kg1/2·A_1·s_1, 其与加速电场场强的指数关系为-0.996。该方法和结果在飞秒光电子传播动力 学、飞秒条纹相机、飞秒电子衍射仪等领域有广泛应用。
光电子学 时间弥散 能量分布 角度分布 蒙特卡罗方法 条纹相机 optoelectronics time dispersion energy distribution angle distribution Monte Carlo method streak camera 
量子电子学报
2018, 35(5): 539
作者单位
摘要
1 东北大学 理学院, 沈阳 110891
2 大连理工大学 物理与光电工程学院, 辽宁 大连 116024
研究了等离子体反应装置内的等离子体密度、粒子能量与角度分布等参量在装置径向与轴向上的分布特性。在研究过程中应用二维混合模型对CF4气体放电进行模拟。计算结果显示:在电极表面与侧壁附近的鞘层区特性有明显的区别。由于装置侧壁处受电源产生的射频电场的影响较小,侧壁处的鞘层主要由双极扩散机制形成,其产生的径向电场强度较弱,鞘层厚度也较薄。而在电极附近,由于受到射频电场的影响,鞘层的厚度显著增加,指向电极方向的轴向电场强度也远大于指向侧壁方向的径向电场强度。在电极区域内,离子通量分布均匀;在电极边缘与侧壁的间隙内,因电场强度减小,离子通量则发生迅速衰减。在射频电极覆盖的范围内离子能量分布大体上保持不变,电极与侧壁的交界处,由于受到侧壁处径向电场的影响,离子能量分布略有不同。在放电装置的中心区域,入射到电极上的离子角度分布基本保持一致,而在电极边界与装置侧壁的交界处,由于径向电场的影响,离子的垂直入射角增加,以大角度轰击电极的离子数量也显著增加。
双频等离子体 混合模拟 离子能量分布 离子角度分布 dualfrequency capacitively coupled plasma hybrid model ion energy distribution ion angular distribution 
强激光与粒子束
2013, 25(9): 2297
唐兴华 1,2,*李家才 1杨涛 1,3徐进章 2[ ... ]张少平 1
作者单位
摘要
1 中国科学院 高能物理研究所, 北京 100049
2 兰州大学 核科学与技术学院, 兰州 730000
3 广西大学 物理科学工程与技术学院, 南宁 530004
为提供探测器或样品辐照实验与靶物质选择所需的辐射环境基本物理参数,利用蒙特卡罗模拟软件FLUKA对BEPCⅡ-LINAC试验束E2线上的第二靶室混合辐射环境进行了模拟计算,得到了以靶心为圆心,半径为1 m的球面上的各次级粒子的微分通量、角度微分截面、磁谱仪方位角上的双微分能谱、靶室内的剂量率分布。
混合辐射 FLUKA模拟 次级粒子微分通量 角度分布 双微分能谱 剂量率 mixed radiation field FLUKA simulation secondary particles differential fluencies angular differential cross-section dual differential energy spectrum dose rate 
强激光与粒子束
2011, 23(7): 1904
作者单位
摘要
南京信息工程大学 数理学院, 南京 210044
根据二次电子发射的主要物理过程,推导了内二次电子到达多晶表面并逸出的几率的角度分布、斜射入多晶的高能原电子产生的二次电子的角度分布和由背散射电子产生的二次电子的角度分布。同时,推导了高能原电子轰击多晶产生的二次电子的角度分布公式,该公式表明多晶的二次电子遵循余弦分布,且与原电子的入射角无关。分析结果表明: 在内二次电子最大逸出深度范围内,如果由射入多晶的原电子和背散射电子产生的内二次电子数是常数, 则多晶的二次电子的角度分布遵循余弦分布;如果由射入多晶的原电子和背散射电子产生的内二次电子数越来越少,则多晶的二次电子发射角度分布随出射角减少得比出射角的余弦值更慢;如果由射入多晶的原电子和背散射电子产生的内二次电子越来越多,则多晶的二次电子发射角度分布随出射角减少得比出射角的余弦值更快。
角度分布 二次电子 高能电子 多晶 angular distribution secondary electron high energy electron polycrystalline 
强激光与粒子束
2011, 23(6): 1663
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
2 中国科学院研究生院,北京 100039
3 中国科学院物理研究所,北京 100080
报道了利用重复频率为30 Hz,波长为532 nm的Nd:YAG倍频激光单次通过抽运硝酸钡(Ba(NO3)2)晶体(晶体由水溶液降温法生长,长度为48 mm,横截面为10 mm×10 mm),获得高效率的一阶(563 nm),二阶(599nm)和三阶(639 nm)斯托克斯光的实验结果.硝酸钡晶体沿着[110]晶轴方向切割.观测到一、二、三阶斯托克斯光呈锥形环分布,一、二、三阶斯托克斯光的散射外边缘与抽运光轴线间的夹角大小分别为1.7°,3.5°,5.0°.同时也观测到Ba(NO3)2的SRS角度分布与抽运光强度无关.定性分析认定,Ba(NO3)2的SRS角度分布主要是由相位匹配过程决定的.测得抽运光、一、二、三阶斯托克斯光的脉宽分别为11.6 ns,9.8 ns,8.4 ns和4.5 ns.当抽运光功率密度约为150W/cm2时,获得一、二、三阶斯托克斯光的最大光光转换效率,分别为33.5%,8.8%和3.4%.此外,由于晶体中的热沉积效应,观察到了Ba(NO3)2晶体的SRS转换效率饱和现象.
受激拉曼散射 脉冲压缩 角度分布 硝酸钡晶体 Stimulated Raman Scattering (SRS) Pulse compression Angular distribution Ba (N03)2 crystal 
光子学报
2006, 35(9): 1285

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