1 江南大学 物联网工程学院，江苏 无锡 214122
2 无锡市好达电子股份有限公司，江苏 无锡 214124
3 清华大学 材料学院，北京100084
4 上海师范大学 信息与机电工程学院，上海200234
随着第五代移动通信(5G)时代的到来，高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求。该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR)。该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz，机电耦合系数可达39.6%，Q-3 dB为248；A3模式的谐振频率高达17.04 GHz，机电耦合系数为7.0%。该谐振器A1和A3模式的频率温度漂移系数(TCF)分别为-72.6×10-6/℃和-38.5×10-6/℃。此外，该文还提出了一种新型叉指电极(IDT)结构，该结构可以抑制寄生模式，提升谐振器性能。
XBAR谐振器 高频率 超大带宽 5G通信 寄生模式 XBAR resonator high frequency ultra wide-bandwidth 5G communication spurious mode
1 中国科学院 声学研究所,北京 100190
2 中国科学院大学,北京 100049
利用声表面波(SAW)技术设计的Chirp变换频谱仪(CTS)具有低功耗、高稳定性等优势，特别适用于深空探测领域。该文提出了一种大带宽的CTS系统。由数模转换器(DAC)和四倍频器产生2 GHz带宽的展宽线Chirp信号，其色散特性与1 GHz带宽的声表面波色散延迟线特性匹配。搭建了实时处理带宽为1 GHz、频率分辨率为100 kHz的频谱分析仪，并对在大带宽下CTS出现的响应不均衡展开探讨。分析了系统各部分对CTS的影响，通过实验验证了响应不均衡出现的原因。测试结果表明，该文设计搭建的1 GHz带宽CTS系统的频率分辨率可达115, 512 kHz。
声表面波(SAW) 色散延迟线 超大带宽 Chirp变换 深空探测 频谱仪 surface acoustic wave(SAW) dispersive delay line wide bandwidth Chirp transform deep space exploration spectrum analyzer
