作者单位
摘要
1 安徽建筑大学 电子与信息工程学院,安徽合肥23060
2 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽合肥30009
原子力显微镜处于轻敲模式工作于大气环境时,由于悬臂和被测试样间的距离很小,悬臂的振动会产生相应的压膜阻尼,影响悬臂的动态特性。基于欧拉-伯努利梁方程对悬臂梁进行建模,结合雷诺方程建立悬臂阻尼作用的分析模型,研究悬臂压膜阻尼效应的主要影响因素,分析不同谐振模态下压膜阻尼效应对悬臂阻尼系数、动态原子力显微镜的测量特性的影响,并基于多模态原子力显微镜进行了实验和测试。理论及实验结果表明,空气压膜阻尼对于基础谐振模态原子力显微镜的测量特性有一定的影响,在悬臂试样20~2 μm逼近过程中,悬臂品质因数明显降低,两种悬臂振幅分别减少了7.8%和20.6%,悬臂宽度增大则受到的压膜阻尼影响也增加;相同实验条件下,二阶谐振模态下的悬臂品质因数和振幅均没有明显变化。在基础谐振模态下压膜阻尼效应会引起微悬臂品质因数的降低,从而导致原子力显微镜测量分辨率的减小和测量速度的降低;多模态原子力显微镜的高阶谐振模态可显著降低空气压膜阻尼效应对悬臂品质因数及测量特性的影响。
原子力显微镜 压膜阻尼 品质因数 高阶谐振 atomic force microscopy squeeze film damping quality factor higher-order resonant 
光学 精密工程
2022, 30(19): 2362
作者单位
摘要
燕山大学 电气工程学院,河北 秦皇岛 066000
针对脉冲等离子体推力器(PPT)高压储能电容充电这一应用背景,研究了一种新型LCC-LC谐振变换器。该变换器在保留了LCC谐振网络基本特性的同时,引入了零增益点,使谐振变换器具有负载短路保护和缓启动功能,且相比于LCC谐振变换器的工作频率调整范围更窄,有利于磁集成和功率密度的提升。利用基波分析法和阻抗分析法分析了高阶LCC-LC谐振腔的特性,并基于此进行工作区间划分,确保LCC-LC谐振变换器宽负载范围内实现软开关;针对LCC-LC谐振变换器的高效运行,给出了一整套参数优化设计方法。最后,通过仿真和1 kW的原理样机实验数据,对所研究的变换器各项功能进行了验证。
PPT电容充电 高阶谐振变换器 LCC-LC谐振 软开关 宽增益范围 PPT capacitor charging high order resonant converter LCC-LC resonance soft switching wide gain range 
强激光与粒子束
2020, 32(7): 075004
作者单位
摘要
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥 230009
动态原子力显微镜(atomic force microscope, AFM)是通过检测悬臂谐振状态的变化来对物体表面形貌进行测量的。通过对谐振状态的三种因素即振幅、相位、频率的检测, 动态AFM可以分为三种工作模式, 即振幅反馈、相位反馈与频率反馈模式, 这三种反馈模式有着不同的扫描特点。基于硅悬臂具有高阶谐振的特性, 动态原子力显微镜可以在悬臂工作于高阶谐振状态时对物体进行扫描。综合上述工作模式研制了一套多模态动态AFM, 可以在三种反馈模式、不同阶谐振状态下对物体进行扫描测量。利用该系统在不同反馈模式、不同阶谐振状态下进行了扫描测试, 结果显示, 系统在各模式下具有亚纳米分辨力, 其中在相位反馈模式, 悬臂二阶谐振时可达到最优灵敏度与分辨力, 分别为17.5V/μm和0.29nm, 在最优灵敏度与分辨力状态下对光栅试样进行了三维扫描, 得到光栅的三维形貌图。
动态AFM 振幅反馈 相位反馈 频率反馈 高阶谐振 Dynamic AFM amplitude feedback phase feedback frequency feedback high-order resonance 
光学 精密工程
2017, 25(2): 401
作者单位
摘要
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 安徽 合肥 230009
利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性, 提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法, 并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理, 从理论上证明了利用硅悬臂梁高阶谐振特性实现快速扫描的可行性。以自制的AFM为研究对象, 分析了影响动态AFM扫描速度的主要因素, 对系统各模块的响应时间进行了分析、测试, 并通过实验证明了AFM在二阶谐振模态下的稳定时间明显小于一阶谐振模态下的稳定时间。最后, 分别用一阶、二阶谐振模态对光栅试样在同一区域的表面形貌进行了扫描测试, 测试数据表明: 在相同条件下, AFM的扫描速度在二阶谐振模态下约是一阶模态下的3.3倍。理论分析和实验结果证明了利用高阶谐振探针提高AFM扫描速度的可行性和有效性。
原子力显微镜(AFM) 硅悬臂梁 高阶谐振 扫描速度 Atomic Force Microscope (AFM) silicon cantilever higher-order resonance scanning speed 
光学 精密工程
2014, 22(3): 656

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