红外与激光工程, 2015, 44 (4): 1335, 网络出版: 2016-01-26
Si 间隔层对Al(1 wt.%Si)/Zr 极紫外多层膜热稳定的作用研究(英文)
Effect of Si barrier layers on the thermal stability of Al(1 wt.%Si)/Zr multilayers designed as EUV mirrors
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O434.1 |
栏目: | 光电器件与材料 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2014-08-11 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2016-01-26 |
通讯作者: | 李嘉 (freya.lijia@foxmail.com) |
备注: | -- |
李嘉, 朱杰, 张众, 齐润泽, 钟奇, 王占山. Si 间隔层对Al(1 wt.%Si)/Zr 极紫外多层膜热稳定的作用研究(英文)[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(4): 1335. Li Jia, Zhu Jie, Zhang Zhong, Qi Runze, Zhong Qi, Wang Zhanshan. Effect of Si barrier layers on the thermal stability of Al(1 wt.%Si)/Zr multilayers designed as EUV mirrors[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(4): 1335.