红外与激光工程, 2015, 44 (4): 1335, 网络出版: 2016-01-26
Si 间隔层对Al(1 wt.%Si)/Zr 极紫外多层膜热稳定的作用研究(英文)
Effect of Si barrier layers on the thermal stability of Al(1 wt.%Si)/Zr multilayers designed as EUV mirrors
Al/Zr多层膜 热稳定性 Si间隔层 合金界面层模型 Al/Zr multilayers thermal stability Si barrier layer alloy-interlayer model
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