光学学报, 2018, 38 (12): 1202001, 网络出版: 2019-05-10
原子光刻中原子通量的优化研究 下载: 754次
Optimization of Atom Flux in Atom Lithography
原子与分子物理学 纳米计量 传递标准 原子光刻 纳米光栅 原子通量 atomic and molecular physics nanoscale metrology transfer standards atom lithography nanoscale gratings atom flux
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