原子光刻中原子通量的优化研究

陈杰; 刘杰; 朱立; 邓晓; 程鑫彬; 李同保

doi:doi:10.3788/AOS201838.1202001

光学学报, 2018, 38 (12): 1202001, 网络出版: 2019-05-10

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Optimization of Atom Flux in Atom Lithography

陈杰 ^**刘杰朱立邓晓 ^*程鑫彬李同保

作者单位

同济大学物理科学与工程学院, 上海 200092

图 & 表

图 1. 原子光刻原理示意图

Fig. 1. Schematic of atom lithography

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图 2. 原子炉管构型。(a)第一类;(b)第二类

Fig. 2. Atomic furnace tube configuration. (a) First kind; (b) second kind

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图 3. 第三类原子炉管构型及其坐标系。(a)构型; (b)坐标系

Fig. 3. Atomic furnace tube and its coordinate system. (a) Configuration; (b) coordinate system

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图 4. 喷口刀口切角与原子通量关系图

Fig. 4. Relationship between nozzle blade angle and atom flux

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图 5. 三类原子炉管对应的喷发量比较

Fig. 5. Eruption volume comparison among three kinds of atomic furnace tubes

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图 6. 原子束准直示意图

Fig. 6. Schematic of atomic beam collimation

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图 7. 第三类炉管研制的纳米光栅形貌与轮廓实验结果。(a)光栅原子力显微镜图像;(b)光栅截面对比

Fig. 7. Experimental result of morphology and profile of nano-grating fabricated by third kinds of furnace tube. (a) Atomic force microscope image of nano-grating; (b) profile comparison of nano-grating

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陈杰, 刘杰, 朱立, 邓晓, 程鑫彬, 李同保. 原子光刻中原子通量的优化研究[J]. 光学学报, 2018, 38(12): 1202001. Jie Chen, Jie Liu, Li Zhu, Xiao Deng, Xinbin Cheng, Tongbao Li. Optimization of Atom Flux in Atom Lithography[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(12): 1202001.

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图 1. 原子光刻原理示意图

Fig. 1. Schematic of atom lithography

图 2. 原子炉管构型。(a)第一类;(b)第二类

Fig. 2. Atomic furnace tube configuration. (a) First kind; (b) second kind

图 3. 第三类原子炉管构型及其坐标系。(a)构型; (b)坐标系

Fig. 3. Atomic furnace tube and its coordinate system. (a) Configuration; (b) coordinate system

图 4. 喷口刀口切角与原子通量关系图

Fig. 4. Relationship between nozzle blade angle and atom flux

图 5. 三类原子炉管对应的喷发量比较

Fig. 5. Eruption volume comparison among three kinds of atomic furnace tubes

图 6. 原子束准直示意图

Fig. 6. Schematic of atomic beam collimation

图 7. 第三类炉管研制的纳米光栅形貌与轮廓实验结果。(a)光栅原子力显微镜图像;(b)光栅截面对比

Fig. 7. Experimental result of morphology and profile of nano-grating fabricated by third kinds of furnace tube. (a) Atomic force microscope image of nano-grating; (b) profile comparison of nano-grating

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图 1. 原子光刻原理示意图

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图 2. 原子炉管构型。(a)第一类;(b)第二类

Fig. 2. Atomic furnace tube configuration. (a) First kind; (b) second kind

图 3. 第三类原子炉管构型及其坐标系。(a)构型; (b)坐标系

Fig. 3. Atomic furnace tube and its coordinate system. (a) Configuration; (b) coordinate system

图 4. 喷口刀口切角与原子通量关系图

Fig. 4. Relationship between nozzle blade angle and atom flux

图 5. 三类原子炉管对应的喷发量比较

Fig. 5. Eruption volume comparison among three kinds of atomic furnace tubes

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Fig. 6. Schematic of atomic beam collimation

图 7. 第三类炉管研制的纳米光栅形貌与轮廓实验结果。(a)光栅原子力显微镜图像;(b)光栅截面对比

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